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模块模块1：

3次课堂教学，次课堂教学，3次作业，次作业，1次现场验收。

次现场验收。

模块模块2：

5次课堂教学，次课堂教学，5次作业，次作业，1次现场验收。

模块模块3:

4次课堂教学，次课堂教学，4次作业，次作业，1次现场验收。

教材：

半导体器件半导体器件TCAD设计与应用设计与应用，韩雁等编著，韩雁等编著，2013年年3月出版。

月出版。

集成电路设计集成电路设计CAD/EDA工具使用教程工具使用教程，韩雁等编著，韩雁等编著，2010年年9月出版。

2022/11/8浙大微电子浙大微电子2/53第一次课第一次课课程简介及上机操作简介课程简介及上机操作简介课程简介课程简介模块模块1：

半导体工艺与器件设计工具（：

半导体工艺与器件设计工具（3+1）模块模块2：

模拟：

模拟IC设计工具（设计工具（5+1）模块模块3：

数字：

数字IC设计工具（设计工具（4+1）上机操作上机操作Linix命令命令上机实验上机实验作业作业布置布置2022/11/8浙大微电子浙大微电子3/53模块模块1：

半导体工艺与器件设计工具（半导体工艺与器件设计工具（3+1）工艺仿真工具工艺仿真工具TSUPREM-4和和器件仿真工具器件仿真工具MEDICI新一代工艺及器件仿真工具新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus设计实例设计实例-用用TCAD设计设计ESD防护器件防护器件实验实验课课随堂上机验收随堂上机验收工艺与工艺与器件设计器件设计3次次作业作业2022/11/8浙大微电子浙大微电子4/53模块模块1-1/3：

工艺仿真工具工艺仿真工具TSUPREM-4和器件仿真工具和器件仿真工具MEDICI工艺仿真工具工艺仿真工具TSUPREM-4介绍介绍模型介绍模型介绍TSUPREM-4基本命令介绍基本命令介绍双极晶体管结构的一维仿真示例双极晶体管结构的一维仿真示例器件仿真工具器件仿真工具MEDICI介绍介绍MEDICI实例实例1LDMOS器件仿真器件仿真MEDICI实例实例2NPN三极管仿真三极管仿真2022/11/8浙大微电子浙大微电子5/53模块模块1-2/3：

新一代工艺及器件仿真新一代工艺及器件仿真工具工具Sentaurus工艺仿真系统工艺仿真系统SentaurusProcess器件结构编辑工具器件结构编辑工具SentaurusStructureEditor器件仿真工具器件仿真工具SentaurusDevice集成电路虚拟制造系统集成电路虚拟制造系统SentaurusWorkbench2022/11/8浙大微电子浙大微电子6/53模块模块1-3/3：

设计实例设计实例-用用TCAD设计设计ESD防护器件防护器件ESD及及ISE-TCAD简介简介工艺仿真（工艺仿真（Dios）器件仿真（器件仿真（DESSIS）及）及模型的选取模型的选取热边界条件的设定热边界条件的设定ESD防护防护器件仿真中收敛性问题器件仿真中收敛性问题一些对关键性能有影响的关键参数一些对关键性能有影响的关键参数二次击穿电流的仿真二次击穿电流的仿真2022/11/8浙大微电子浙大微电子7/53模块模块1（3+1）：

实验实验课课随堂上机验收随堂上机验收工艺与工艺与器件设计器件设计3次次作业作业作业作业1-1用用T4T4做出一个做出一个NMOSNMOS管，再管，再读入到读入到MEDICI中，进中，进行栅特性仿真。

行栅特性仿真。

作业作业1-2用用Sentaurus工艺仿真软件跑出一个工艺仿真软件跑出一个NMOS器件，器件，通过修改器件参数，使得耐压提高通过修改器件参数，使得耐压提高20%。

作业作业1-3将一个仿真不收敛的将一个仿真不收敛的ESD防护器件，通过网格防护器件，通过网格调整而变得收敛。

调整而变得收敛。

2022/11/8浙大微电子浙大微电子8/53模块模块2：

模拟IC设计工具（设计工具（5+1）系统级仿真与系统级仿真与Matlab模拟电路仿真工具模拟电路仿真工具+快速仿真快速仿真+数模混合仿真数模混合仿真设计实例设计实例-基准源、噪声、开关电容及基准源、噪声、开关电容及Monte-Carlo仿真仿真模拟模拟IC版图绘制及版图绘制及Virtuoso工具软件工具软件版图验证与后仿真版图验证与后仿真实验实验课课-随堂上机验收模拟随堂上机验收模拟IC设计设计5次次作业作业2022/11/8浙大微电子浙大微电子9/53模块模块2-1/5：

系统级仿真与系统级仿真与Matlab集成电路设计的一般流程集成电路设计的一般流程系统级建模工具系统级建模工具-Matlab设计实例设计实例-利用利用Matlab设计锁相环设计锁相环2022/11/8浙大微电子浙大微电子10/53模块模块2-2/5：

模拟电路仿真工具模拟电路仿真工具+快速仿真快速仿真+数模混合仿真数模混合仿真Spectre模拟仿真模拟仿真Ultrasim快速仿真快速仿真Spectreverilog数模混合仿真数模混合仿真演示演示2022/11/8浙大微电子浙大微电子11/53模块模块2-3/5：

设计实例设计实例-基准源、噪基准源、噪声、开关电容及声、开关电容及Monte-Carlo仿真仿真电压基准源设计电压基准源设计集成电路噪声分析及仿真集成电路噪声分析及仿真开关电容电路理论、设计举例及仿真开关电容电路理论、设计举例及仿真Monte-Carlo仿真仿真2022/11/8浙大微电子浙大微电子12/53模块模块2-4/5：

模拟模拟IC版图绘制及版图绘制及Virtuoso工具软件工具软件典型深亚微米工艺流程典型深亚微米工艺流程DesignRule的简介的简介Virtuoso软件的简介及使用软件的简介及使用PDK简介简介版图设计中的相关专题版图设计中的相关专题2022/11/8浙大微电子浙大微电子13/53模块模块2-5/5：

版图验证与后仿真版图验证与后仿真概述概述DRC、LVS与后仿真介绍与后仿真介绍验证工具介绍验证工具介绍Calibre使用方法使用方法Diva规则文件简介规则文件简介实例分析实例分析2022/11/8浙大微电子浙大微电子14/53模块模块2（5+1）：

实验实验课课-随堂上机验收模拟随堂上机验收模拟IC设计设计5次次作业作业作业作业2-1利用利用Simulink搭建一个搭建一个416线译码器的仿真模型线译码器的仿真模型作业作业2-2对一个数模混合的对一个数模混合的FSK电路进行数模混合仿真电路进行数模混合仿真作业作业2-3仿基准电压源的温度系数仿基准电压源的温度系数/工艺角工艺角/环路稳定性环路稳定性/电源抑制比电源抑制比作业作业2-4绘制一个电流控制振荡器，版图面积绘制一个电流控制振荡器，版图面积0.05mm2服务服务指南指南linux常用命令常用命令下找到网址：

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