PECVD详细介绍_精品文档优质PPT.ppt
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有炉门排风系统组成;
为了保持扩散炉管内良好的密封性能,并将未能从尾气管排出的残留废气及时抽走,防止废气泄露.炉体部分:
由加热电阻丝组成;
通过大电流发热满足工艺要求的扩散温度.气柜部分:
由所需的各种气路,流量计及.主要作用:
为工艺提供所需的气体流量.简要部分介绍上下装载区:
桨、上下装载区:
桨、LIFT、抽风系统、抽风系统、SLS系统。
系统。
桨:
由碳化硅材料制成,具有耐高温、防变形等由碳化硅材料制成,具有耐高温、防变形等性能。
作用是将石墨舟放入或取出石英管。
性能。
LIFT:
机械臂系统,使舟在机械臂作用下在小:
机械臂系统,使舟在机械臂作用下在小车、桨、储存区之间互相移动。
车、桨、储存区之间互相移动。
抽风系统:
位于晶片装载区上方,初步的冷却石抽风系统:
位于晶片装载区上方,初步的冷却石墨舟和一定程度的过滤残余气体墨舟和一定程度的过滤残余气体SLS系统:
软着陆系统,控制桨的上下,移动范围在系统:
软着陆系统,控制桨的上下,移动范围在23厘米厘米PECVD设备结构载片区部分介绍机械手桨小推车操作平台指示灯炉门石墨舟电极口炉体:
石英管、加热系统、冷却系统炉体:
石英管、加热系统、冷却系统v石英管:
炉体内有四根石英管,是镀膜石英管:
炉体内有四根石英管,是镀膜的作业区域,耐高温、防反应。
的作业区域,耐高温、防反应。
v加热系统:
位于石英管外,又五个温区。
加热系统:
PECVD设备结构加热反应室热电偶热电偶1炉管内部电极热电偶窗口窗口电极热电偶2排气口炉管后段PECVD设备结构冷却系统:
冷却系统:
v是一套封闭的循环水是一套封闭的循环水系统,位于加热系统系统,位于加热系统的金属外壳,四进四的金属外壳,四进四出并出并有一个主管道,有一个主管道,可适量调节流量大小。
可适量调节流量大小。
冷却水系统进水口出水口特气柜:
特气柜:
MFC气动阀气动阀MFC:
气体流量计(:
气体流量计(NH3SiH4N2等等)气动阀:
之所以不用电磁阀是因为电磁阀在工作时容气动阀:
之所以不用电磁阀是因为电磁阀在工作时容易产生火花,而气动阀可以最大程度的避免火花。
易产生火花,而气动阀可以最大程度的避免火花。
PECVD设备结构真空系统真空系统v真空泵:
每一根石英管配置一组泵,包括主泵和辅助泵。
真空泵:
v蝶阀:
可以根据要求控制阀门的开关的大小,来调节蝶阀:
可以根据要求控制阀门的开关的大小,来调节管管内气压的内气压的PECVD设备结构PECVD控制系统主要从事的是下面的四种控制系统1PECVD真空的控制2PECVD的机械手的控制3PECVD的特气控制4PECVD的电器控制PECVD控制系统控制系统控制系统CMI:
是:
是Centrotherm研发的一个控制系统,其中界研发的一个控制系统,其中界面包括面包括Jobs、System、Datalog、Setup、Alarms、Help.vJobs:
机器的工作状态。
vSystem:
四根管子的工作状态,舟的状态以及手四根管子的工作状态,舟的状态以及手动操作机器臂的内容。
动操作机器臂的内容。
vDatalog:
机器运行的每一步。
PECVD控制系统CMI-accessgatetoCESARSMenuformanualoperations温度控制系统PECVDPECVD日常报警说明日常报警说明管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vProcessrecipehasterminatedwitherrorstate-AlarmACK-
(1)tostore
(2)tostoreenableunload(3)Restartrecipe.v说明:
进行中的工艺以错误的状态结束说明:
进行中的工艺以错误的状态结束-警报确认警报确认-
(1)储存()储存
(2)储存并卸下()储存并卸下(3)重新开始工艺。
)重新开始工艺。
v
(1)用错工艺号,手动结束工艺,重新开始新的其它工艺时用错工艺号,手动结束工艺,重新开始新的其它工艺时进行选择。
进行选择。
v
(2)多数情况下选择此项。
;
多数情况下选择此项。
v(3)工艺中断需要重新进行时选择,选择前应查看镀膜情况。
工艺中断需要重新进行时选择,选择前应查看镀膜情况。
1管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vBoatalreadyintube-select:
process=0unload=1.v说明:
石墨舟已经在管内说明:
石墨舟已经在管内-选择选择运行工艺运行工艺=0取出卸下取出卸下=1。
v当管内有石墨舟时,异常排除后手动运行工艺时当管内有石墨舟时,异常排除后手动运行工艺时会出现这样的提示,查看镀膜情况后在做选择。
会出现这样的提示,查看镀膜情况后在做选择。
2管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vLosthoming,checkposition.v说明:
失去引导,检查位置。
说明:
v此报警会自动解除,只需要检查一下桨是此报警会自动解除,只需要检查一下桨是否在原点的位置即可。
否在原点的位置即可。
3管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vHFGenoutof1st(2nd)tolerance.v说明:
高频发生器超过第一
(二)个位置,如果在镀膜说明:
高频发生器超过第一
(二)个位置,如果在镀膜中退出,如已经沉积到氮化硅,检查镀膜时间后,选择中退出,如已经沉积到氮化硅,检查镀膜时间后,选择手动工艺输入剩余时间。
手动工艺输入剩余时间。
v通常出现这样的报警有三种情况:
通常出现这样的报警有三种情况:
v
(1)石墨舟的电极孔放反。
石墨舟的电极孔放反。
v
(2)石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中间。
间。
v(3)炉内的碎片太多,石墨电极底部接触到碎片形成两片炉内的碎片太多,石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间的短路。
电极之间的短路。
4管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vRecipeabort2-processabort!
TOcontinue:
enterAB.v说明:
工艺推出说明:
工艺推出-运行终止。
继运行终止。
继续输入续输入AB。
v对工艺异常确认输入对工艺异常确认输入AB后,会出现后,会出现第
(一)个报警第
(一)个报警5管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vVacuumtubeoutof1st(2nd)tolerance.v说明:
石英管内的真空度超过第一
(二)个限说明:
石英管内的真空度超过第一
(二)个限值。
值。
v系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次,系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次,由于某种原因导致抽真空被延时,在特定的时由于某种原因导致抽真空被延时,在特定的时间内无法达到真空设定值的要求,系统会出现间内无法达到真空设定值的要求,系统会出现这样的报警,检查一下状态栏中的压力值和真这样的报警,检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常,如正常过几分钟后报警空泵的工作是否正常,如正常过几分钟后报警会自动解除;
如果此报警连同第(八)个报警会自动解除;
如果此报警连同第(八)个报警一起出现的话,联系工序长和领班。
一起出现的话,联系工序长和领班。
6管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vBoatsensorofgrabhaschangedwithoutpermission.v说明:
机械手上的传感器被非允许移动。
v机械手喜爱上下移动时不会前后移动,若机械手喜爱上下移动时不会前后移动,若这时前后的位置发生变化,机械臂将会被这时前后的位置发生变化,机械臂将会被锁定,出现报警。
此警报需要通知工序长锁定,出现报警。
此警报需要通知工序长或领班。
或领班。
7管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vCollectivealertpumpst.1v说明:
真空泵报警。
v一般情况下是由于真空泵的负压太大,导一般情况下是由于真空泵的负压太大,导致报警。
如复位无效的话通知工序长或领致报警。
如复位无效的话通知工序长或领班。
班。
8管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vGasN2(SiH4、NH3)outof1st(2nd)tolerance.v说明:
特气氮气(硅烷、氨气)超过第一
(二)个说明:
特气氮气(硅烷、氨气)超过第一
(二)个限值。
限值。
v出现这种报警的原因是多面的:
高频放电失败、管出现这种报警的原因是多面的:
高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定(冷内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定(冷却水报警),都会出现这样的报警,出现超过第一却水报警),都会出现这样的报警,出现超过第一个限值报警,只是警告;
超过第二个限值报警出现个限值报警,只是警告;
超过第二个限值报警出现后工艺会自动停止,此时报警消失,出现第五个报后工艺会自动停止,此时报警消失,出现第五个报警信息警信息9管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vWarming:
checkSiH4distribution.v说明:
警告说明:
警告,检查硅烷的流量。
检查硅烷的流量。
v检查硅烷的流量是否于设定值吻合,如果不检查硅烷的流量是否于设定值吻合,如果不是退出并重新运行工艺是退出并重新运行工艺10管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vRecipecouldntdestarted.pleasecheckprotocolforreason.。
v说明:
工艺不能被运行,请检查原因。
v原因:
此管已有一个工艺在运行;
此管没有你原因:
此管没有你要选的工艺文件;
状态不正确要选的工艺文件;
状态不正确11管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vThereisalreadyanactiverecipeformlocallisting.v说明:
已经有说明:
已经有工艺在此管的工艺列表中。
工艺在此管的工艺列表中。
v十一、十二俩个报警有时会一起出现,终止任十一、十二俩个报警有时会一起出现,终止任何一个报警都会何一个报警都会解除。
解除。
12管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明vTubereadyinundefinedpleaseensurethattheCESARloadingmachineisat“0”positionandsoftlanderis“UP”.v说明:
管子的状态无法被
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