蚀刻线岗位操作指引规范_精品文档.doc

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XXXXXX电子科技有限公司

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日期

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文件会签：

拟案单位于□内“√”以示回签部门

总经理

管理者代表

市场部

工程部

制造部

品保部

物控部

设备部

管理部

财务部

采购部

研发部

此文件为江西华浩源电子科技有限公司之机密文件，未经许可，不得复印。

发行管制章

XXXXXX电子科技有限公司

蚀刻线岗位操作规范

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总页数：

第1页共6页

1.0目的：

规范员工操作,提高员工的操作技能。

2.0适用范围：

本规程只适用本公司蚀刻工序的D.E.S线。

3.0工艺流程

3.1显影段：

撕聚酯膜→入板显影1#/2#→高压水洗1#2#3#4#→市水洗1#→冷风干→热风干→收板→自检

3.2蚀刻段：

入板→蚀刻1#2#3#→高压水洗5#6#7#→市水洗2#→检查

3.3去膜段：

入板→去膜1#2#→高压水洗8#9#10#→市水洗3#→钝化1#2#3#→高压水洗11#12#→市水洗4#→冷风干→热风干→出板

4.0工艺参数

曝光能量与显影参数对照表

类别

曝光能量

显影温度

显影速度

药水浓度

备注

线路

5级

28℃

1.2-1.5m/min

PH值10.4-11　

30℃

1.3-1.6m/min

CO32-8-15g/L

32℃

1.5-1.8m/min

线路

6级

28℃

1.3-1.5m/min

PH值10.4-11

30℃

1.4-1.6m/min

　CO32-8-15g/L

32℃

1.6-1.8m/min

线路

7级

28℃

1.3-1.5m/min

PH值10.4-11

30℃

1.5-1.7m/min

　CO32-8-15g/L

32℃

1.6-1.8m/min

油墨

7级

28℃

**m/min

PH值10.4-11

不准生产

30℃

0.9-1.1m/min

CO32-8-15g/L

只限于BGA产品

32℃

1.0-1.2m/min

油墨

8级

28℃

0.8-1.0m/min

PH值10.4-11

只限于BGA产品

30℃

0.8-1.0m/min

CO32-8-15g/L

只限于BGA产品

32℃

1.0-1.2m/min

油墨

9级

28℃

**m/min

PH值10.4-11

不准生产

30℃

0.7-0.9m/min

CO32-8-15g/L

只限于BGA产品

32℃

0.8-1.0m/min

油墨

10级

28℃

**m/min

PH值10.4-11

不准生产

30℃

0.7-0.9m/min

CO32-8-15g/L

32℃

0.8-1.0m/min

油墨

11级

28℃

**m/min

PH值10.4-11

　不准生产

30℃

0.6-0.8m/min

CO32-8-15g/L

32℃

0.8-1.0m/min

油墨

12级

30℃

0.8-1.0m/min

PH值10.4-11

带阻焊桥的产品

32℃

0.9-1.1m/min

CO32-8-15g/L

蚀刻线岗位操作规范

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总页数：

第2页共6页

缸名

项目

控制范围

最佳值

配槽量

更换标准

分析频率

显影

（800L）

碳酸钾

8-15g/l

10g/l

8kg

每班或PH≤10.4时更换

2次/班

PH值

10.4-11

10.8

上压力

0.8-1.6kg/cm2

1.2kg/cm2

下压力

1.0-1.8kg/cm2

1.5kg/cm2

温度

28-32℃

30℃

速度

干膜：

1.2-1.8m/min

[此参数仅供参考，具体的参数由首件来确定，超出此范围的为异常现象，必须得到工程师的确认方可生产。

感光线路油墨：

0.6-1.2m/min

阻焊油墨：

0..6-1..2m/min

1HZ等于0.036米每分钟此公式只限于显影速度调试

压力水洗

压力

0.8-1.2kg/cm2

1..0kg/cm2

1次/班

热风吹干

温度

50-70℃

65℃

蚀刻

（1200L）

铜离子

120-150g/L

130g/L

1次/班

盐酸

1.5-2.5N

2.0N

1次/班

上压力

1.2-2.0kg/cm2

1..6kg/cm2

38.8HZ

频率显示

1次/班

下压力

1.4-2.0kg/cm2

1.8kg/cm2

38.8HZ

温度

49-54℃

52℃

单面板：

0.5OZ

1.9-2.5m/min

2.2m/min

注：

此参数只供做首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板OK后,再批量生产，批量生产时必须有专人检验板。

单面板：

1.0OZ

1.1-1.4m/min

1..3m/min

双面板：

0.5OZ

1.1-1.4m/min

1..3m/min

双面板：

1.0OZ

1.0-1.3m/min

1..2m/min

双面板：

2.0OZ

0.2-0.5m/min

0.3m/min

蚀刻

（1200L）

1.0OZ（已加厚10-20um）

0.6-0.9m/min

0.8m/min

注：

速度计算公式：

1hz等于0.036米每分钟此工式只限于蚀刻脱膜计算方法

0.5OZ（已加厚10-20um）

0.9-1.2m/min

1.0m/min

0.15mm厚的钢片

0.9-1.2m/min

1.0m/min

注：

此参数只供做首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板OK后,再批量生产，量产时，每30pnl测试1次。

0.2mm厚的钢片

0.4-0.7m/min

0.5m/min

压力水洗

压力

0.8-1.2kg/cm2

1.0kg/cm2

1次/班

去膜（600+600）L

氢氧化钠

3-5%

4%

25kg

1次/4天

1次/班

上压力

0.8-1.4kg/cm2

1.1kg/cm2

下压力

1.0-1.6kg/cm2

1.3kg/cm2

消泡剂

0.05-0.2%

0.1%

温度

50-60℃

55℃

速度

1.0-2.2m/min

1.6m/min

压力水洗

压力

1.0-1.4kg/cm2

1.2kg/cm2

1次/班

钝化

H2SO4

1-3%

2%

60L

1次/3天

1次/班

压力

1.0-1.4kg/cm2

1.2kg/cm2

压力水洗

压力

1.0-1.4kg/cm2

1.2kg/cm2

1次/班

热风干

温度

75-100℃

85℃

D.E.S全线

棉芯

20/5-10um

20”/10um

1次/周

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第3页共6页

5.0操作内容

5.1蚀刻线开机前准备

5.1.1检查药水槽，水洗槽液位是否正常，并使之正常。

5.1.2检查各盖板是否盖好，没盖好必须盖好。

5.1.3检查各输送轮是否清洁，不清洁必须清洗干净。

5.1.4检查烘干段加热系统是否正常，不正常使之修复。

5.1.5检查设备有否在维修保养中,如在维修保养中必

需挂上标识牌,待维修OK后再开机。

5.1.6检查连接部位是否需加润滑油。

5.1.7检查急停开关是否复位。

5.2开机

5.2.1开启主电源,机器电源。

5.2.2轻触触摸屏,进入机器运行操作系统。

5.2.3查看各段的温度是否正常，不正常的使之正常（各段的温度都由工程师设定好,严禁随意更改,

若要更改,必须由工艺部专职工程师更改）。

5.2.4开喷淋前领班或储干检查输送轮、轴转动是否正常，如有跳动或不转等异常应做好记号，并通知设备组维修，待维修完毕后才能开机。

5.2.5显影开机：

（依次打开）显影1#2#、摆动1#2#、水洗1#2#3#4#、冷风1#、热风1#。

5.2.6蚀刻开机：

轻触“下一页”按扭（依次打开）蚀刻1#2#3#、摆动1#2#3#、水洗5#6#7#。

5.2.7脱膜开机：

（依次打开）脱膜1#2#、滚筒1#2#、吹膜1#2#、水洗8#9#10#、钝化1#2#3#、水洗11/12、冷风2、热风2、冷却风扇。

5.2.8三段喷淋开起后检查喷淋摇摆、喷淋喷嘴，无异常后再开传动。

5.2.9轻触“传动速度”按扭，进入速度设定界面，轻触设定栏，输入所需的速度值，轻触“确定”按扭，确认速度。

5.2.10轻触“控制”按扭，进入界面，轻触传动1#2#3#。

5.2.11手动打开显影、蚀刻、脱膜、钝化后面的市水洗1#2#3#4#，并调至适当的流量（400L/h）。

5.2.12打开控制柜的总电源开关。

（里面所有的设定参数，除了本工序的工程师外，其他人不准作任何修改设定）。

5.3放板

5.3.1将已曝光好的板撕掉聚酯膜后按操作示意图片平稳地放在转轮上，板与板之间的间隔为10cm以上，放板宽度不得超过530mm

5.3.2如果铜厚0.5OZ以下的单面板必须带回形框或载板过机。

5.3.3每放完一批板后面要放上一张绿板或引导板作标记。

5.3.4显影后产品必须有专人自检，自检合格后方可放入蚀刻机。

5.3.5蚀刻后必须抽检，控制欠蚀刻的板进入脱膜段。

5.3.6显影、蚀刻、首件前，必须先核对首件上的产品型号、版本号与流转单上的是否一致，梳对无误后再进行生产。

开始生产批量前，必须先核对产品型号、版本号与流转单是否一致，领代班或负责人每1小时抽查一次产品型号、版本号与流转单是否一致。

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第4页共6页

5.4接板

5.4.1戴棉手套或指套双手对角拿板,将板平