特气及毒气Detector侦测器验收标准模板Word格式文档下载.docx
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10-9atmcc/sec
≤20pc/cftat0.1µ
≤10Inlet+10ppb
0.5%PH3H2
NF3
0.5%TMBH2
2.气体管路验收标准
1.检查各系统管线之路径是否正确。
2.检查各系统管线数量、规格及管径大小是否正确。
3.检查各系统管线是否配置整齐及确实依规定固定。
4.检查各系统管线之标示是否详尽及正确,管线材质是否正确。
5.检查各系统管线之垫片材质是否使用正确,固定是否良好。
6.检查各系统管线之尺寸、高度、路径是否符合设计规格。
7.检查各系统管线之管支撑之间距是否符合规定。
8目视检查各系统管线是否水平或垂直无歪斜。
9竣工数据须包含现场各系统供应之会签纪录及测试记录窗体。
10竣工资料须包含每一气柜之配管示意图。
11竣工数据须包含工程相片。
13竣工资料须包含承包商自主检查表。
14所有竣工图面及竣工数据皆须有电子磁盘档案﹙AutoCAD﹚
15检查新增设备功能是否完全按照业主方进行设定,设备位置是否按图纸规划
二气柜要求及测试标准
1.功能要求
Name
Qty
Cyl
Purge
Pigtail
Cylinderconnector
AutoGuard
0.5%PH3H2GC
3
2+1
Auto
CGA
√
NF3BSGS
1
4Y
Diss
SiH4BSGS
0.5%TMBH2GC
Autoswitch
Sprinker
TouchScreen
Controller
Exh.sensor
ProcessFilter
PLC
Pre40µ
mPost0.003µ
Panelpipingsize
LocalScubber
Testport
UV/IR
ExcessFlowSwitch
FlowMeterDisplayonScreen
Heatblock
Panelheater
Cylinderheater
Purifiers
PipeType
VacuumGauge
dual
2.盘面阀件要求
阀件名称
解释
1%PH3H2
AS
Autoswitch
△
CFG
Conicalfiltergasket
EFS
Excessflowswitch
HPA
Highpressureaccess
HPI
Highpressureisolation
HPV
Highpressurevent
LPI
Lowpressureisolation
LPV
Lowpressurevent
MLPV
ManulLPV
PRVI
RegulatorStageI
PRVII
RegulatorStageII
PGBV
Purgegasbleedvalve
PLI
Processlineisolation
SP
SimplePort
VGM
Vacuumgeneratormodule
ESO
EmergencyshutoffVavle
PTPV
PigtailPurgevavle
VBV
VentBleedVavle
HPPT1
HighpressurePT1
HPPT2
LPPT
LowPressurePT1
VPT
VentPT1
3.盘面管径要求
HeaterInletA:
1/2”FemaleVCR-Type
HeaterInletB:
ProcessOutlet:
1/2”FemaleVCR-Type
VacGenVent:
1/4”MaleVCR-Type
VacGenN2Inlet:
N2PurgeInlet:
HPAInlet:
SystemExhaust:
150-100-400flange
Labels:
Verfied
1/2”FemaleVCR-Type
1/4FemaleVCR-Type
4.气柜测试要求(厂商提供出厂报告)
ParticleTest:
<
1particles/ft30.1µ
MoistureTest:
100ppbH2O
OxygenTest
:
100ppbO2
PressureDecayTest:
50psi±
0%
HeliumLeakTest:
1×
10-9atmcc/secHelium
5.相关认证
厂商需要提供设备经过SEMIS2认证的证书及相关详细资料
三气体侦测器及监控系统要求及测试标准
1.气体侦测器要求及验收标准
1)产品测试:
提供产品出厂之校正报告,测试方法采用标准气体进行测试(标准气体需要有经过国家质量监督检验检疫总局批准的标准物质证书)
2)现场测试:
A测试AI信号是否与现场相符
B现场调高DT数值观察图控是否符合(侦测点0.5ppm1ppm)并是否发出报警
2.图控要求及验收标准
1)监控计算机SCADA计算机名称路径与文件名原则
APC名称:
PC名称
计算机位置
网络IP地址
GAS1_S1
气体控制室SCADA
GAS1_S2
化学控制室SCADA
GAS1_V1
1AVIEW
BNode及图形文件的命名
2)在PLC站名及图形文件名之前加系统别,其系统别如下:
系统缩写
系统别
GAS
IVOGASSystem
3)监控Tag
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