激光干涉仪检测方法Word文档格式.docx
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的相位差異步射出時,一個輸入光束的波峰位置會如下圖3一般與另一個輸入光束的波谷重合,固稱為“相消性干涉”。
在相消性干涉的情況下,兩個輸入波會互相抵消而產生暗淡的光
图片:
根据光的干涉原理,两列具有固定相位差,而且有相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠,将会产生干涉现象,如图所示。
由激光器发射的激光经分光镜A分成反射光束S1和透射光束S2。
两光束分别由固定反射镜M1和可动反射镜M2反射回来,两者在分光镜处汇合成相干光束。
若两列光S1和S2的路程差为Nλ(λ为波长,N为零或正整数),实际合成光的振幅是两个分振幅之和,光强最大。
当S1和S2的路程差为λ/2(或半波长的奇数倍)时,合成光的振幅和为零,此时光强最小。
激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹,由光电转换元件接收并转换为电信号,经处理后由计数器计数,从而实现对位移量的检测。
由于激光的波长极短,特别是激光的单色性好,其波长值很准确。
所以利用干涉法测距的分辨率至少为λ/2,利用现代电子技术还可测定0.01个光干涉条纹。
因此,用激光干涉法测距的精度极高。
激光干涉仪由激光管、稳频器、光学干涉部分、光电接受元件、计数器和数字显示器组成
FANUC0i、16M、18M
3620
各轴参考点的补偿号
3621
负方向的最小补偿点号
3622
正方向的最大补偿点号
3623
螺补量比率
3624
螺补间隔
1851
背隙补偿
FANUC15M
5420
5421
5422
5423
5424
FANUC0M
11/0.1
螺补倍率
712-715
756-759
1000,2000
3000,4000
补偿基准点
1001-1128
2001-2128
3001-3128
4001-4128
补偿值
535-538
注:
P11.1,P11.0组合形式:
00
X1
01
X2
10
X3
11
X4
例子:
X轴行程:
-1000mm-0mm,参考点为0mm,基准点编号为20,间隔距离为100mm,补偿倍率为1
负方向补偿号=基准编号-(负方向行程/间隔)+1
=20-1000/100+1=11
正方向补偿号=基准编号+(正方向行程/间隔)+1
=20+0/100+1=21
五、FANUC检测用程式
FANUC检测用的宏程式有A类宏程序和B类宏程序两种。
FANUC0i,15M,18M采用B类宏程序,0M采用A类宏程序。
使用B类宏程序有两种编程方法。
例子:
行程为1000mm,间隔为100mm,采用双方向编程。
程式1如下:
G54G90G00X0
X-1
G04X3
#100=0
N123
X#100
G04X5
#100=#100+100
IF[#100LE1000]GOTO123
X1005
#101=1000
N234
X#101
#101=#101-100
IF[#101GE0]GOTO234
M00
M30
注:
GE≥LE≤GT>
LT<
EQ=NE≠
程式2如下:
WHILE[#100LE1000]DO1
END1
WHILE[#100GE0]DO2
END2
使用A类宏程序
程式如下:
G65H01P#100Q0;
(#100=0)
/G65H01P#iQ#j
/代码:
H01功能:
定义,替换,赋值定义:
#i=#j
G65H02P#100Q#100R100;
(#100=#100+100)
/G65H02P#iQ#jR#k
H02功能:
加法定义:
#i=#j+#k
G65H86P-123Q#100R1000;
(IF[#100LE1000]GOTO123)
/G65H86PnQ#jR#k
H86功能:
条件转移定义:
IF#j≤#k,GOTOn
G65H01P#101Q1000
G65H03P#101Q#101R100;
(#101=#101-100)
/G65H03P#iQ#jR#k
H03功能:
减法定义:
#i=#j-#k
G65H85P-234Q#101R0(IF[#101GE0]GOTO234)
/G65H85PnQ#jR#k
H85功能:
IF#j≥#k,GOTOn
另一种方法就是调用子程序的方法
M98P#####L##
在“SYSTEMPARAMETER”页面
设定:
PPITCHERRCOMP(螺距补偿的正方向极限)
NPITCHERRCOMP(螺距补偿的负方向极限)
PITCHCOMPSPAN(螺补间隔)
PITCHPOINT(螺距补偿的补偿点数)
在“PITCHERRORCOMP”页面输入螺补值,通过软键“AXISCHANGE”
来选择各轴
例子同上,采用宏程序编程。
程序如下:
G15H10
G90G0X0
X-5
G04P3
VC1=0
N10
X=VC1
G04P5
VC1=VC1+100
IF[VC1LE1000]N10
GO4P3
VC1=1000
N11
GO4P5
VC1=VC1-100
IF[VC1GE0]N11
在检测软件中补偿值选择绝对值。
在机床上输入时,无需更改符号。
输入值必须是5的整数倍。
而FANUC选择增量值。
在输入时,需要更改符号。
输入的最大值为7,而补偿的倍率最大为4倍
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