360吨每天 半导体生产废水处理设计方案.docx
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360吨每天半导体生产废水处理设计方案
废水处理设备工程
规划书
一.业主信息
一.业主:
公司
二.工程地址:
三.联络电话:
二.概说
于半导体生产过程中产生的电镀废水,以及RO/UF运行.混床再生过程中产生的反洗水和酸碱废水,日排放废水总量为360M^3/day。
本规划设计书系针对废水之来源,性质及流量拟定可行性之处理,本最最经济有效之原则以彻底解决公害问题。
并确保达排放标准。
三.设计基础
一.处理方式:
本案采"连续式"处理法
二.放流标准:
符合排放标准(业主要求)
三.设计水量:
360M^3/24HRS
四、废水性质:
PH:
考虑酸碱性设计值:
考虑酸碱性
BOD:
300mg/L设计值:
450mg/L
COD:
500mg/L设计值:
680mg/L
SS:
200mg/L设计值:
250mg/L
Ag:
20mg/L设计值:
25mg/L
四、废水处理原理及原则
1.废水处理方案之选择在于依据放流水之水质标准及承受水体之特性,并就废水污染物质之浓度确定其去除率,其次再就该同一去除率之各种可达放流水标准之处理方法中视处理量、建设费、用地之大小及操作管理等问题加以检讨,以选择经济最佳之有效处理方案。
2.节省加药及操作方便起见,采用pHcontroller控制酸或碱之注入量。
3.本废水工程设计依照我公司经验及参考国内外成功案例,此废水经物理处理,化学处理方法即可达到水排放一级标准。
4.工作系采全班制作业,虽其排水量甚为平均,为骤时尖峰排水系其特性,致废水水量及水质变化不均,故需设置调节水槽,以调节水量及水质使其均匀化,并有预先曝气之功效。
五、废水处理流程示意图
(如附图:
废水流程示意图及废水平面示意图)
六、系统特点说明
一.经处理后排放水质符合国家一级排放标准
PH:
6--9
BOD:
20mg/L以下
COD:
100mg/L以下
SS:
70mg/L以下
Ag:
0.5mg/L以下
二.本处理系统于操作管理上将趋于人性化之操作管理,从监控部份做彻底之设计及制作。
叙述如下:
1.药液之管理采用液位探测方式,辅以警报系统及必要之自动关机作业,以避免人为疏失而造成药剂浪费或排放水质不稳定.
2.为避免整套系统运转,因部份机械设备出现误差而使整套系统停机,进而影响处理水质,在控制方面备有安全回路监控及警报系统.在设备之安装工程上,主要设备均配有备品做并联式之安装。
不仅方便操作,亦可确保系统运转无误。
七、处理方法说明
1.在原水贮槽控制稳定的流速及水位,原水槽池内设曝气设备,藉搅拌作用使固体物悬浮不致沉淀,并能使水质及水量均匀化。
2.本系统采取泵浦输送废水过程中管中添加混凝剂产生胶体,输送管内添加PoLymer凝集剂使胶体物形成更大胶状物,并于沉淀槽内沉淀促使溶解性离子及悬浮物形成沉降物于沉淀池中去除,并利用PHcontroller控制自动添加药品。
3.上清液则流入中和槽利用PHcontroller控制酸自动添加使废水酸碱质均衡稳定进入放流槽最终排放。
4.沉淀槽底部污泥定时排入污泥贮槽再经机械式污泥脱水机脱水形成SLUDGECAKE(泥饼),依现行法规进行最终处置。
八、设备内容及规格说明
一.硫酸槽CT1
数量:
一座
型式:
立式圆桶型
容量:
1500L
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
二.絮凝剂槽CT2
数量:
一座
型式:
立式圆桶型
容量:
1500L
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
三.混凝剂槽CT3
数量:
一座
型式:
立式圆桶型
容量:
1500L
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
四.氢氧化钠储槽CT4
数量:
一座
型式:
立式圆桶型
容量:
1500L
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
五.营养剂储槽CT5
数量:
一座
型式:
立式圆桶型
容量:
200L
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
六.消泡剂槽CT6
数量:
一座
型式:
立式圆桶型
容量:
200L
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
七.盐水槽CT7
数量:
一座
型式:
立式圆桶型
容量:
1000L
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
八.还原剂槽CT8
数量:
一座
型式:
立式圆桶型
容量:
200L
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
九.盐酸槽CT9
数量:
一座
型式:
立式圆桶型
容量:
500L
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
十.2B#厂房浓酸废液中继水槽TO
数量:
一座
型式:
立式开放型双层水槽
有效容积:
3M3
停留时间:
12HRS
结构:
RC制+PP
附属设备
1.输送泵
数量:
二组(一组备用)
型式:
陆上型
规格:
200L/minx12MHx40Ax2P
马达:
0.75KWx3φx380Vx50Hz
材质:
耐酸碱
配备:
浮球开关
2.流量计
数量:
一组
规格:
LZB-40
材质:
PVC制
3.曝气盘
数量:
4支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
十一.浓酸废液储槽Ta(备用)
数量:
一座
型式:
立式开放型双层水槽
有效容积:
6M3
停留时间:
12HRS
结构:
RC制+PP
附属设备
1.输送泵
数量:
二组(一组备用)
型式:
陆上型
规格:
200L/minx12MHx40Ax2P
马达:
0.75KWx3φx380Vx50Hz
材质:
耐酸碱
配备:
浮球开关
2.流量计
数量:
一组
规格:
LZB-40
材质:
PVC制
3.曝气盘
数量:
4支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
十二.浓酸废液储槽Tb(备用)
数量:
一座
型式:
立式开放型双层水槽
有效容积:
7.5M3
停留时间:
12HRS
结构:
RC制+PP
附属设备
1.输送泵
数量:
二组(一组备用)
型式:
陆上型
规格:
200L/minx12MHx40Ax2P
马达:
0.75KWx3φx380Vx50Hz
材质:
耐酸碱
配备:
浮球开关
2.流量计
数量:
一组
规格:
LZB-40
材质:
PVC制
3.曝气盘
数量:
4支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
十三.浓酸废液储槽Tc
数量:
一座
型式:
立式开放型双层水槽
有效容积:
3M3
停留时间:
12HRS
结构:
RC制+PP
附属设备
1.输送泵
数量:
二组(一组备用)
型式:
陆上型
规格:
200L/minx12MHx40Ax2P
马达:
0.75KWx3φx380Vx50Hz
材质:
耐酸碱
配备:
浮球开关
2.流量计
数量:
一组
规格:
LZB-40
材质:
PVC制
3.曝气盘
数量:
4支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
十四.废水均衡池槽T2
数量:
一座
型式:
立式开放型双层水槽
有效容积:
80M3
停留时间:
12HRS
结构:
RC制+PP
附属设备
1.输送泵
数量:
二组(一组备用)
型式:
陆上型
规格:
300L/minx12MHx40Ax2P
马达:
1.5KWx3φx380Vx50Hz
材质:
耐酸碱
配备:
浮球开关
2.流量计
数量:
一组
规格:
LZB-40
材质:
PVC制
3.曝气盘
数量:
20支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
十五.废助焊剂储槽T3
数量:
一座
型式:
立式开放型双层水槽
有效容积:
3M3
停留时间:
12HRS
结构:
RC制+PP
附属设备
1.输送泵
数量:
二组(一组备用)
型式:
陆上型
规格:
200L/minx12MHx40Ax2P
马达:
0.75KWx3φx380Vx50Hz
材质:
耐酸碱
配备:
浮球开关
2.流量计
数量:
一组
规格:
LZB-40
材质:
PVC制
3.曝气盘
数量:
4支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
十六.可回收水收集水槽T4
数量:
一座
型式:
立式开放型双层水槽
有效容积:
52.5M3
停留时间:
12HRS
结构:
RC制+PP
附属设备
1.输送泵
数量:
二组(一组备用)
型式:
陆上型
规格:
200L/minx12MHx40Ax2P
马达:
0.75KWx3φx380Vx50Hz
材质:
耐酸碱
配备:
浮球开关
2.流量计
数量:
一组
规格:
LZB-40
材质:
PVC制
3.曝气盘
数量:
4支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
十七.反应槽T5
数量:
一座
型式:
立式开放型水槽
有效容积:
7.5M3
停留时间:
12HRS
结构:
RC制+FRP
附属设备
1.H3PO4加药机
数量:
一台
型式:
隔膜定量式
规格:
1000ML/minx6Kg/cm2
动力:
40Wx3φx380Vx50Hz
2.H2SO4加药机
数量:
一台
型式:
隔膜定量式
规格:
1000ML/minx6Kg/cm2
动力:
40Wx3φx380Vx50Hz
3.PAC加药机
数量:
一台
型式:
隔膜定量式
规格:
1000ML/minx6Kg/cm2
动力:
40Wx3φx380Vx50Hz
4.FeCl3加药机
数量:
一台
型式:
隔膜定量式
规格:
1000ML/minx6Kg/cm2
动力:
40Wx3φx380Vx50Hz
5.搅拌机
数量:
一座
型式:
双层浆叶75RPM
马达:
1.5KWx3φx380Vx50Hz
材质:
SUS304制
6.曝气盘
数量:
4支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
7.鲁氏鼓风机
数量:
一组CRB-50
规格:
4.0m3/minx5000mmAqx50Ax1150rpm
动力:
7.5kWx3φx380Vx50Hz
8.pH指示控制器
数量:
一组
测定范围:
0--14
电源:
AC-220V/110Vx60Hz/50Hz
电极:
玻璃电极
十八.絮凝槽T6
数量:
一座
型式:
地上矩型水槽
有效容积:
5.0M3
停留时间:
0.70HRS
结构:
RC制+FRP.
附属设备
1.Polymer加药机
数量:
二组
型式:
隔膜定量式
规格:
1000ML/minx6Kg/cm2
动力:
40Wx3φx380Vx50Hz
2.搅拌机
数量:
一座
型式:
双层浆叶12RPM
马达:
1.5KWx3φx380Vx50Hz
材质:
SUS304制
3.曝气盘
数量:
4支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
十九.沉淀槽T7
数量:
一座
型式:
地上圆型水槽
有效容积:
21M3
停留时间:
3.40HRS
结构:
RC制+FRP
机械设备
1.刮泥机
数量:
一座
型式:
双层浆叶0.8RPM
马达:
1.5KWx3φx380Vx50Hz
材质:
SUS304制
2.进流管/溢流堰板
结构:
PVC.
3.倾斜管
数量:
20.0M^2
材质:
PVC制
4.污泥泵
数量:
二组
规格:
220L/minx21MH
动力:
1.5Wx3φx380Vx50Hz
材质:
FC100
二十.中和槽T8
数量:
一座
型式:
立式开放型水槽
有效容积:
4.0M3
停留时间:
0.5HRS
结构:
RC制+FRP
附属设备
1.H2SO4加药机
数量:
一台
型式:
隔膜定量式
规格:
1000ML/minx6Kg/cm2
动力:
40Wx3φx380Vx50Hz
2.NaOH加药机
数量:
一台
型式:
隔膜定量式
规格:
1000ML/minx6Kg/cm2
动力:
40Wx3φx380Vx50Hz
3.消泡剂加药机
数量:
一台
型式:
隔膜定量式
规格:
1000ML/minx6Kg/cm2
动力:
40Wx3φx380Vx50Hz
4.搅拌机
数量:
一座
型式:
双层浆叶75RPM
马达:
1.5KWx3φx380Vx50Hz
材质:
SUS304制
5.曝气盘
数量:
4支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
6.pH指示控制器
数量:
一组
测定范围:
0--14
电源:
AC-220V/110Vx60Hz/50Hz
7.砂过滤器
数量:
一组
型式:
陆上型(L)
规格:
D1900xH2000MMH
过滤量:
28.5T/H
材质:
QS41+衬胶
配备:
PVC碟阀
8.砂滤进水泵
数量:
叁组(一组备用)
型式:
陆上型(L)
规格:
30T/Hx32MHx65Ax2P
马达:
5.5KWx3φx380Vx50Hz
材质:
耐酸碱
配备:
液位开关
二十一.监察槽T9
数量:
一座
型式:
地上矩型水槽
有效容积:
6.0M3
停留时间:
0.45HRS
结构:
RC制+FRP
附属设备
1.F在线控制器
数量:
一组
测定范围:
0—1000
电源:
AC—220V/110Vx60Hz/50Hz
输出信号:
4-20mA
2.pH指示控制器
数量:
一组
测定范围:
0—14
电源:
AC—220V/110Vx60Hz/50Hz
电极:
玻璃电极
3.电动蝶阀
数量:
2支
材质:
PVC制
尺寸:
DN100
二十二.污泥浓缩槽T10
数量:
一座
型式:
地上矩型水槽
有效容积:
10.0M3
停留时间:
24HRS
结构:
RC制+FRP
附属设备
1.液位浮球
数量:
一套
材质:
耐酸碱
2.曝气盘
数量:
6支
型式:
圆盘式
材质:
ABS+EPDM
二十三.污泥脱水机
数量:
一套
型式:
板框式污泥脱水机(XAMZ40/800-UBK)
尺寸:
4.895MLx1.23MWx3.165MH
规格:
1.滤板尺寸:
800mmx800mmx60mm
2.滤板数量:
40PCS
动力:
1.5Kwx3φx380Vx50Hz
附属设备
1.气动隔膜泵50A
数量:
2座
材质:
耐酸碱.
2.空压机
数量:
1座
马力:
10HP.
二十四.电气设施
1.操作控制盘
A.废水输送泵液位自动控制系统.
B.加药设备自动控制系统.
C.各水池、水槽水位控制系统.
D.连动系统.
2.盘面装设型式:
屋外型(使用PLC控制)
运转,停止指示灯
自动手动切换开关
c.电压仪、检流仪,PH等指示仪表
电力配线现场本工程范围内之电力配线.
数量:
一式.
二十五.统连结配管
废水处理场本工程范围内之系统连结配管及凡而.
A.用药给水系统采用PVC管
B.空气管线系统采用GIP“B”管(镀锌管与PVC管)
C.原水输送系统采用PVC管
D.药液输送系统采用PVC高压软管
二十六.业主自理部份
1.电气设施:
处理场所有照明设备,安全措施及一次测电源.
2.药品泡制用及其它须用水之设备自来水供应.(供应至现场).
3.试运转用之水,电,药品,供应.
4.施工期间所须水电供应(业主须配至现场).
5.电源:
3∮x380V56HP(42Kw)水源:
40A
九、工程范围
一.土木工程
NO
项目
1.
土木工程(整地)
2.
反应槽体EpoxyCoating
3.
管线移设及障碍清除之配合
4.
生产线废水管路→废水处理场
二.机械工程
NO
项目
1.
工程范围内之设备及配管
2.
机械制作/运送/组立/安装
三.电气及仪表工程
NO
项目
1.
操作控制盘
2.
一次侧电源引入工程42KW
3.
二次侧电源衔接工程
4.
设备照明工程
四.管理—试车
NO
项目
1.
教育训练
2.
化学分析(试车期间)
3.
现场指导—试运转
4.
试车用电/水/药品
五.调查及设计工程
NO
项目
1.
水质/水量调查
2.
功能设计
3.
机械设备设计
十、废水处理设备保养及运转管理
一、保养管理之重要性
所谓「管理」,一般来说可包括:
1.进行作业的计划标准化
2.根据作业计划或作业标准实施作业,检讨及评估作业经过或作业之记录及成果,以重复反映在合理性作业的标准化。
为了担当废水处理设备之运转管理,须制定标准化作业,其项目包括:
1.处理方式及处理水质之设定
2.废水之取样及分析
3.处理药品之购买、保管
4.处理药品的调整
5.运转操作程序
6.维护方法、周期及故障对策
7.污泥之处理
8.作业实绩的记录、报告
9.其它相关作业事项等。
进行这些标准化项目,重要的是一定要确实遵守有关规定。
特别是运转操作人及管理人等人数众多时,由于个人熟练的操作及方法变更,很容易引起设备故障及意外事故的发生。
实施保养管理可达到以下成果:
1.处理水质合格且安定
2.处理成本降低
3.机械使用年限延长
4.作业安全。
二、保养管理的状况
本废水处理装置由化学处理(中和)及物理处理(沉降分离、过滤、脱水等)机器设备组合而成。
这些机械设备必须在设定之能力范运作,始能保证处理排放水质之合格。
废水处理与一般生产过程不同,其负有绝对不能产生不良品的使命,废水浓度常在数倍上下变化,但其处理水质(处理标准)却须保持某数值以下,故其运转管理较其它生产过程要求更为严谨。
1.装置的保养检查
日常检查:
对装置的运转状态可以比较简单地查出之检查作业项目如:
设备的加油、药品之补充、电极的清洗等。
定期检查:
一年内应检查数次者,以比较须要花费时检查,及无须常作检查为对象,可利用连休日,等工厂放假日作精细检查之项目。
例如:
管路之清洗、槽体渗漏检查、防蚀衬里之修补等。
2.清扫作业
也许因废水处理装置与生产作业无关而常被忽视,但废水处理是否确实运作,从装置的保养、清扫等即可立刻看出,于此就可了解保养,清扫也是重要维护管理作业。
3.修补作业
由装置故障检查结果,根据确认装置异常原因所采取适当的修补作业,可初步看出废水处理设施之机能,且能防止装置故障于未然,也能确保其使用寿命。
三、水处理操作日常检查表
检查对象
检查项目
检查方法
搅拌机、泵、鼓风机
振动、发热
整体装置以五感及目视
处理水质
pH,SS
分析仪器
沉淀槽
沉淀状态、浮渣有无、污泥
上浮、透视度、池内pH、有否悬浮物溢流
目视或pH计
反应槽
搅拌、混合状态、短流、异物附着
目视
1.反应槽
pH值、色相
pH之调整速度、中和剂过量投入.
2.絮凝槽
凝聚状态、凝聚剂添加量、
pH值
目视、量筒等
3.中和槽
pH值
pH计、目视
4.电极
污损、破损
目视
操作盘
pH计之指示值、操作状况电流、电压计的确认
确认设定值及槽内之值过大
电流等
原水贮存槽
水质
有否异常pH
移送泵
扬水
目视
水位计
自动操作
有否误操作或操作不良
药品槽
药品有否不足、湿度是否正常
目视
药品注入装置
药品有否外溢、注药与连动注药泵之确认
目视操作间隔是否正常
配管
有否漏水、漏气
目视
脱水机
脱水状态
含水率、手感等
其他
清扫、擦拭、药品槽、操作其它机器类
注意触电、及旋转部份
四、废水处理操作定期检查表
检查对象
检查项目
检查方法
pH电极
确认有无破损,
有无沾污物
标准调整
连接部之湿气、沾污、锈蚀
接地线之确认
目视
洗净(洗剂稀盐酸
每2周一次
干布擦拭
腐蚀、破损之确认
配管
配管阻塞
目视,流量测定
反应槽搅拌机
搅拌状态
搅拌翼上异物之去
马达之温度、异音、振动
润滑油澰查
目视,液混合及轴之状态
手感
不足时及补充
移送泵
扬水量之确认
扬水量之确认
振动、异常异音
轴、马达温
目视
分解清理之
手感
手感
药品注入泵
注入状况的确认
调节机器的连动
接合部的松脱、漏液
振动、温度、异音
目视计量
目视、
手感,目视
目视、五感等
鼓风机
旋转状态、异音、振动、湿度
手感,目视
三脚水位计
电极棒之接触
电极棒之松脱
湿气造成绝缘不良
升起目视检查
栓紧
湿气造成绝缘不良
处理水
水质分析
仪器分析
十一、操作费用预估
(一)药品类别
NO
药品名称
商品规格
包装
1
硫酸(H2SO4)
50%(液体)
槽车
2
液碱(NaOH)
30%(液体)
槽车
3
FeCl3
90%(液体)
槽车
4
PAC
100%粉体
25KG/包
5
Polymer
100%粉体
15KG/包
(二)动力明细表
机械名称
容量
(Kw)
常用
台数
运转
时间
使用量
KwH/D
控制方式
手动自动
1.
废水泵
3.75
1
20
15
△△
2.
鼓风机(01/02/04)
11
1
20*0.33
72.6
△△
3.
搅拌机
1.5
3
20
90
△△
6.
絮凝搅拌机
1.5
1
20
30
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