真空设备操作维护保养规程.docx
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真空设备操作维护保养规程
1.目的:
按规定进行设备的管理,指导正确操作、使用、维护和保养设备,保证生产,
提高产品质量,改进环境绩效,预防和减少事故发生。
2•范围:
本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养
3•操作规程
3.1旋片泵操作规程
3.1.1性能规范
型号:
2X—70
几何抽速:
70L/S;
极限压力:
1帕;
泵转速:
450转/分;
电机:
Y132L-4功率:
5.5KW;
电机转速:
1440转/分;
配用三角带;B/1600:
4根;
冷却水消耗量:
480L/H;
润滑油:
1#真空机械泵油(KK-1)储存量8Kg;
口径:
进气90mm排气60mm。
3.1.2操作规范
3.1.2.1起动前的准备
(1)检查皮带的松紧程度,起动前可以松一些,起动后调节底座上的螺栓,慢慢拉紧,以减少起动力矩。
(2)检查各部分有无松动现象,电机转向是否同泵的要求符合。
(3)检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。
(4)对于长期未工作的泵,起动前应间断起动电机,检查是否灵活。
(5)检查冷却水是否正常(管路上水压表水压0.2—0.3MPa)、润滑油是否正常。
3.1.2.2起动
(1)打开冷却水阀。
(2)合上电源的开关,起动电机。
(3)泵启动后,再缓慢打开进气阀,以免泵的负荷急剧增加。
3.1.2.3停车
停泵时应先关断进气口阀门,打开放弃阀法对泵放气。
3.1.3注意事项
3.1.3.1应经常注意油位及油的清洁,新泵工作150小时后换油一次,以后每2-3个
月换油
一次,如使用条件不好,真空度下降,可以缩短换油时间。
3.1.3.2应经常保持泵及泵房的干燥清洁。
3.1.3.3注意泵温及冷却水和油的温度,水温在20-40T之间,不应超过40T,即泵温不超
过环境温度加上40C。
3.1.3.4润滑油应符合要求,否则达不到所要求的真空度。
3.1.3.5入停车后泵温要下降至5C以下时,泵内冷却水必须除净。
3.2罗茨真空泵操作规程
321性能规范
型号:
RTO,300S;
抽气速率:
300L/S;
极限压力:
0.6帕;
进排气口径:
160mm/100mm
配用电机:
3KW
3.2.2操作规范
3.2.2.1起动前准备
(1)检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压<0.2MPa。
(2)检查两端盖内的润滑是否足够,齿轮箱侧油位应以寝没3〜4个齿高度为宜。
电机侧
油位应以寝没1/3〜1/2油窗高度为宜。
润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/3〜1/2之
间。
(3)如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末,应在进气口前加装防尘或过滤装置,如果吸入气体有腐蚀性,必须采取中和措施。
(4)检查各部分有无松动现象,较长时间不用后,应拆下旁通溢流阀,检查有无锈死。
(5)检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。
3.2.2.2起动
(1)起动前级泵。
(2)打开本泵的进气阀门。
(3)打开冷却水阀门,当容器压力达到工艺规定压力时,起动本泵。
(4)泵运转时应平稳,转子不得有冲击声。
(5)泵的轴封处不得有漏油现象。
(6)泵在运转过程中如局部升温过大,电流计读数突然发生变化,产生不规则的噪声或
其它异常现象,应立即停泵检查。
3.223停泵
(1)停泵时,应先停罗茨泵,再停前及泵,否则会导致罗茨泵出口压力升高,负荷增大
而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。
或会导致前级泵倒转,前级泵泵油倒灌入管道或罗茨泵,导致前级泵缺油,并有可能污染被抽环境。
(2)停止本泵并关闭排气阀门。
(3)停止前级泵。
(4)关闭冷却水进水阀。
3.2.3注意事项
3.2.3.1应经常保持使用环境清洁干净。
3.2.3.2应经常注意各部件的润滑情况,如发现润滑油不足时,应及时补充,如发现润滑油不清洁时,应及时更换。
3.2.3.3润滑油应符合要求,否则达不到所要求的真空度。
3.3扩散泵操作规程
3.3.1性能规范
型号:
KT600600表示吸气口径;
抽气速率:
>16000L/S
极限真空:
6.5X10-5Pa;
加热功率:
9KW;
装油量:
6-7L(ks-3;
耗水量:
<1000L/H
进口/出口:
600/150。
332操作规范
3.321起动前准备
(1检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压<0.2-0.3MPa);
(2起动前,高真空阀门应处于关闭位置。
3.3.2.2起动
(1)起动前级泵,抽出扩散泵内的气体。
(2)接通冷却水(注意:
急冷水套在扩散泵停机时才能通水)。
(3)接通扩散泵加热电源,对扩散泵加热60min后,当容器压力达到工艺规定压力时,打开高真空阀门,扩散泵可以进入正常工作状态。
3.3.2.3停机
(1)关闭高真空阀门;
(2)切断扩散泵加热其电源,停止加热。
(3)当泵底温度<602关闭管道阀门。
(4)关闭前级泵,并向前级泵充气,以防返油。
(5)停止对扩散泵供水。
3.3.3注意事项
3.3.3.1扩散泵出水温度应<42,否则应立即检查处理。
3.3.3.2如果扩散泵在正常运行中突然停电停水,应按照以下步骤处理:
(1)立即关闭高真空阀和前级阀;
(2)迅速抽出加热器;
(3)马上接通急冷水路,并向扩散泵底部淋水;
3.3.3.3泵正常工作时,如性能突然变坏,应检查加热器是否损坏。
3.334泵在长期工作后,性能如果下降,应拆泵检查油量及泵油氧化情况,酌情加油或换油(扩散泵专用油),在换油时泵体及泵芯要使用无水酒精或丙酮清洗,然后在
80〜100C
温度范围内烘干。
并每次在装配时注意检察泵的出口管道内挡油板的紧固螺栓,确保其无松动安全可靠。
3.335—般情况下,泵体应保持真空状态,以免大气进入泵内造成扩散泵油的氧化。
3.4分子泵操作规程
3.4.1性能规范
型号:
TYFB-1600
抽气速率:
1600(L/S)
极限真空:
v8X10-8/v5X10-7
电机转数:
24000(rpm)冷却水流量:
1(L/min
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! 带有心脏起搏器的人员请远离! ! )。 3.5.2.4下面工作应三个月进行一次 (1)以压缩空气清洁循环水路、设备冷却水套。 (2)更换机械泵油(或者考虑使用1000小时) (3)更换机械泵油过滤器。 (4)请打开各电源柜及控制柜外罩,以压缩空气清洁内部,检查紧固螺钉是否松动,机 壳接地是否良好,各兀器件有无异常。 3.525下面的工作应六月一次: (1)将全部屏蔽板拆出清洗,彻底清洗炉体内部,个别膜层较厚部分,可用抛光布轮或 砂轮抛光清理。 (2)将高阀打开,检查清洗阀板下面。 (3)清洗抽气主管道。 (4)清洗充气阀过滤器。 (5)更换转动轴圭寸。 (6)更换前门密圭寸圈。 (7)更换炉体加热器密封圈。 (8)检查机械泵皮带松紧是否适当,每半年调整一次 3.526下面的工作应一年进行一次: (1)更换机械泵排气过滤网。 (2)检查PLC电池电量。 (3)更换分子泵润滑油(或者每4000小时)。 (4)检查设备动力线是否有老化现象,及时更换。 大修: 视设备工作情况,每两至三年大修一次,彻底清理炉体,更换全部真空系统密封圈, 检修全套设备大修完成后的设备性能应该接近全新设备。 。 4•维护保养 4.1真空系统较长时间以后,极限真空度下降,应进行对滑阀泵、罗茨泵、扩散泵进行检 修。 必要时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清理洗、检修。 4.2泵不用时,应用橡皮塞把进气口塞好,以免赃物和硬质东西落入泵内。 4.3冷却水水压应保持0.1MP〜0.2MPa之间,出水温度w45C。 4.4压缩空气压力在0.4Mpa〜0.5Mpa之间。 4.5每次开机前,要检查保护气的气瓶容量,以免气体充不足,更换气瓶。 4.6经常检查设备各种仪表,保证完好;按照规定对仪表进行校验。 4.7设备停止使用时,应将炉内气体抽空,长时间不用,要充入保护性气体,并把水冷 套内的循环水放掉。 4.8充入的保护性气体,纯度不应小于99.99%。 4.9机械泵、罗茨泵应定期换油加油,罗茨泵的油杯中要保持一直有油。 换油时一定要把油放干净。 4.10扩散泵换油时,内部如有氧化,把扩散泵内部的氧化层处理干净,然后再换上新油。 4.11本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气体。 4.12设备表面及仪表表面要保持清洁,擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。 4.13气动系统的气动三连件的油水分离器要经常放水,油雾器内应注入真空扩散泵油。 4.14设备的整机电压要保证在350V〜420V范围内,三相要平衡。 4.15规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油,使之与座之间形成一层油膜 防止漏气。 以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。 4.16各部分的螺栓定期检查,如发现松动,及时拧紧。 4.17设备工作时,注意观察仪表的显示情况及各泵的声音,以便及时发现异常找出问题。 4.18设备的使用环境,在相对湿度85%以下,温度在10C〜40C。 在拆修设备时各部分不许用重锤敲击,密封面、密封槽不许划伤。 4.19设备在工作时,操作人员不得长时间离岗。 4.20运行中的问题与对策 问题原因解决方法 1■清洗泵后换符合要求 1.油蒸汽返流至真空管的油路或系统中 2■清洗泵后换符合要求 2.油蒸汽压不对的油 真空管路或系统内返油- 3.停泵时,油返流3.检旦并更换截流阀 4.截流阀板上的密圭寸件4.更换截流阀板 损坏 5■更换抽气管路,修理 5.抽气管路底部密封件密封件 腐蚀或损坏 系统工作时温度过高 废气在泵附近泄漏 烟尘或油雾过重 油颜色变深 1■缺油 2■抽气口与排气口错误连接 3■供油管线堵塞 4■油泵出现问题 5■油泵中外来物堵塞 6■环境温度达到或超过 油蒸汽压 7■油蒸汽压低于指标 8■工作气体温度过高 1■排气口0型密封圈损坏 2■油箱表面密封垫损坏 3.泵体表面密圭寸垫损坏 1■油量过多 2■气镇阀开启 3■滤油网损坏 1■油在肮脏工艺过程中受到污染 1■加油 2■抽气管线与抽气口连接 3■断开泵连接,清洗并更换符合要求的油 4■修理或更换油泵 5■清理油泵 6■降低环境温度并注意 空气流通 7■更换符合要求的泵油 &更改工艺或加冷却系统 1■更换新型密封圈 2.更换油箱表面密圭寸垫 3.更换泵体表面密圭寸垫 1■减少油量 2■关闭气镇阀 3■更换滤油网 1■更换泵油或清洗 2■清洗后用规定的泵油 或浑浊 2■油不合适 3■加注足量泵油 停泵时系统中出现空气 异常噪音 3■油不足 4■真空漏率过大 5■惰性保护气体不足 1■系统泄漏 2■密封阀损坏 1■连接件损坏 2缺油 3.油泵磨损或损坏 4■叶片损坏 5■排气阀板上无滤网 6■电机轴承出现问题 4■修理泄漏处,或更换泵油 5■工艺过程中含有腐蚀性、危险性或放射性气体时必须加足量保护气体 1■修理部件 2■修理密封阀 1■更换连接件 2■加油 3■修理或更换油泵 4■拆下油泵,更换叶片 5■加滤网 6修理电机 问题 原因 解决方法 泵油消耗过多 1.出油口密封圈磨损 2.油封损坏或安装错误 1.更换密封圈 2.更换新油封,检查进油 管线 3.油套损坏或腐蚀 3.更换油套 4.进油口或出油口泄漏 4.更换新0型圈 5.泵体与油封间垫片泄漏 5.更换垫片 6. 1.泵粘 1.拆泵修理 泵不能启动 3.油泵磨损或外来物集聚3.更换损坏件或清理 5.连线错 6.电机出错 1.气镇阀开启 2.抽气管太细 4.电机电压不符 4.更换电机 误 5.检查并修理线路 6.更换电机 1.关闭气镇阀 2.更换合适直径的抽气管 泵达不到 3.排气管直径小于排气口直径 3.更换合适直径的排气管 极限真空度 4.真空系统有泄漏处 4.修理系统漏点 5.修理主阀 5.系统主阀冋题 6.使用符合规定的油 6.油不合适 7.换油或加油 7.油被污染或油量太少 1、新机操作系统: jntMm.* ! »■■曲1 枪ftqi■肄 [MMRfJLIT tL14NiA^M1 ■Il瓷箕 f1肇*HF * 命fiMtflflV■扁MlB^^dkrMRSW.1色■Ar»i贰址舟鼻: 町 IttflB1lhO•j|k A-*F30是呉■杆崔供凡冷 tvDuritfi卜ii It于■『I鼻JWN*|Mk曲車£rriibiJ4lr KtAi1」」t#r; Rfirr+»f MHR! 11IVlRl**6f岷H¥r応叩■代"X恬辛<|暉 幡卿礬|卑“監号ff ■內it“htf勺i矗 愉柞世■些M耳*hm蛙应宅■ Ft|tt耳4i■IRJ特.Ii, IPi;爭iL常 WftHIhl11-島髓可匹d叶MMih*rjnC1ftfi: t] 检巾1U丸址若科 ra.£fLB«i j-'fihttiisrMtt^n ill礬H jtttUiV 3iI"■1t rll聲it.■iji障血*血 2、真空度: 1艇**・■・ |1|恳睾 jfr舎切f] 111輒宁■% 邊It览藕耐牛芦 ]■■CtM ■宁亨门住・帼睥 WI9HMmd厲虚工・ ・幅童鞘・>kME 匕ft■怦 eir^jHffifvn*infl 冃坏 ttAHfMBCQF.IBHhI'M 帀A*tjMt■*Jtpf 上JtNIliiiL|J.i| |ITJTJt.iHW 3、工件转动系统: 「同能嵐別 检盒 -PH氛杵已 Fl榷样尺4i號嵋ft ■■懈堵IMtftiKit壻检an也机窥越艮囲恫el.mhb 対連Ml£ fl械常議骷味和申壷毗显逮曲槽■4也mts1R-Tanr fl叫垃竜便 忡聞汕•^MIlS.i,u: 4B"W1检卄谒堆耳蛊e損 4、烘烤系统: 1敵鹿唱* meftH & ■*uu界希墙 f>rk 扭屯干・當 粘 IUZItPID・13■■茅肖 WttT# 無忖曲屯朋布■ 戟“■叭堪r;E|甲世竝if ^*4£M#U 5、磁控靶: 6弧源: fl■那 (忖st杆&MM-nSfintrnwi 力*WL罔M卡EATI- 们也.E叫卜桑11■丄 fUNBI■Xii.■电車istl 鬲jj肩if丽 ■AJrtiih|j 紧急情况处理 ■dTwMlmJH IfO^FS ■鼻静开盘蛊R! 单削三鼻懵・ 星忖 11ftHlfrf■弗直圧 Wr i KMfl 序MU"k评叫包电・ 畫夺押电i対h'filffl ®1Mi曹F豪・FU ■零1H京MiB・ t-.fk.iutzrklil*hf ■转戏矍■誓 It兽■非Ej^if, ■iR KtflJF JtjKflttHI? fi*4 吓协二■电理住■曹辑• 5.安全规范 5.1操作人员要熟悉各种仪表、泵,设备的各部分。 阅读并理解各种说明书。 操作人员在 设备的使用中,要严格执行设备的操作规程,杜绝违规操作。 5.2在设备的使用中,要严格遵守电气设施的使用管 理制度,如有问题必须与电工或电气 工程师取得联系。 5.3在运行中,如果出现故障,要按照正确的顺序进行停机,断掉电源,处理故障。 5.4在处理故障时,要两人以上进行配合,确保电源断开、有压力处泄压。 5.5经常检查并却保各安全防护装置的齐全、安全和有效。 5.6泵上所有机件,非绝对必要,切勿自行拆卸 5.7注意不要用手直接接触靶水,应用温度计测量,防止烫伤5.8气瓶的使用要遵守《压力容器管理制度》。 5.9所有设备维护产生废油、废件等废弃物按照《废水废液控制程序》《固体废物处理程序》进行处理。 6•形成文件 无 7.相关文件 7.1《废水废液控制程序》 7.2《固体废物处理程序》 7.3《设备点检管理制度》 7.4《压力容器管理制度》 7.5《起重机操作维护保养规程》 8.形成记录 8.1《真空机组日常记录表》 MS-04-0215/0304—01
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