制绒工序作业指导书.docx
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制绒工序作业指导书.docx
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制绒工序作业指导书
保密
级别
C
文件
种类
作业指导书
文件
编号
LW-PT3-012-A0
编制
部门
工艺技术部
编制/日期
修订/日期
审核/日期
批准/日期
RENA制绒工序作业指导书
1目的
指导电池车间制绒工序人员的正常生产操作。
2适用范围
100MW电池车间制绒工序工作人员。
3定义
无
4职责权限
4.1生产员工:
若无工艺工程师许可严禁擅自对任何工艺参数进行修改与调整。
4.2操作员
4.2.1在工艺工程师授权的情况下才能对工艺参数进行调整。
在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。
4.2.2协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控,当发现工艺参数发生变化时应及时通知班组长,由班组长通知工艺工程师。
4.3班组长
4.3.1班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产,对其操作进行监督,杜绝违反工艺规定现象出现。
4.3.2当工艺工程师不在现场,且制绒后硅片的腐蚀深度、表面状况出现异常的时对腐蚀温度、带速、风刀频率、溶液浓度、溶液配比在一定范围内进行微调。
当微调无效时,班组长应该通知工艺工程师进行调整。
4.3.3当硅片出现异常,班组长应立即通知工艺人员。
班组长在未得到工艺工程师的授权时,不得对制绒的工艺参数以及清洗机的清洗工艺进行任何调整。
4.3.4班组长应该配合工艺人员严格按照实验要求完成各项实验。
4.3.5协助工艺人员对超净间的各种工艺进行监控,监督工艺质量,当发现工艺被修改时应及时通知工艺人员,由工艺人员进行确认处理。
4.4工艺工程师:
4.4.1保持超净车间的工艺稳定,保证超净车间生产的连续,当工艺出现重大波动且影响到生产质量时,应该及时采取相应的解决措施。
4.4.1.1工艺工程师应该指导生产人员进行生产,保证生产的顺利进行;
4.4.1.2当工艺工程师对工艺进行优化时,应事先与主管工程师讨论确认方案的可行性,然后请求生产部协助,按计划进行实验。
4.4.1.3工艺人员的实验在没有成熟时不得进行大批量生产。
4.4.2在进行各种实验时,为生产人员设定好各种工艺参数;
4.4.3巡视超净车间各工艺情况,当发现工艺参数发生变化时,调查其原因然后进行相应处理;
4.4.4保证超净间各个工艺在规定的工艺参数下进行,对设备的各工艺参数进行定期复查,完成SPC相关工作;
4.4.5配合其他车间工艺人员完成各项实验和质量控制。
5工作流程
无
6正文
6.1附属设施技术要求
6.1.1环境温度:
0℃~40℃
6.1.2相对湿度:
<85%、无凝露
6.1.3周围环境:
无腐蚀性气体
6.2RENA制绒结构特征
Station1:
腐蚀槽Station5:
HF/HCL润洗
Station2:
冲洗1槽Station6:
冲洗3槽
Station3:
KOH润洗Station7:
气刀风干
Station4:
冲洗2槽
RENAInlineTextureEtching包括上料→HNO3及HF腐蚀→冲洗1→KOH润洗→冲洗2→HF/HCl润洗→冲洗3→气刀风干→下料。
6.3设备的操作
6.3.1操作准备
确认设备能正常运行,压缩空气、DI水等压力及流量正常。
戴口罩,操作时戴洁净手套,并保持室内正压,严禁随便开启门窗,以保持室内的洁净度。
6.3.2信号灯及其状态
灯
声音
状态信息
无
无声音
机器处于关闭模式或SERVICE(服务)状态
绿(连续)
无声音
1、机器处于自动模式。
2、机器准备并在工艺运行中
绿(闪烁)
无声音
1、机器处于自动模式。
2、机器准备执行工艺
黄(连续)
蜂鸣响
指令错误,未解决
黄(闪烁)
无声音
机器处于手动模式
红(连续)
无声音
当前有机器错误或异常中断错误并已承认
红(连续)
蜂鸣响
新的机器错误或异常中断错误,并未解决
蓝(连续)
无声音
机器处于待命,并等待新的硅片
6.3.3设备的操作模式
6.3.3.1操作模式关闭:
关闭所有输出信号。
例如设备停止时,选择这种操作模式。
状态显示的背景颜色是蓝色。
模块关闭,所有输出信号关闭。
6.3.3.2手动模式:
单独控制每一模块的状态。
状态显示的背景颜色是黄色。
模块处于手动模式。
6.3.3.3服务模式:
主要用于维护。
当选择该模式,关闭所有输出信号。
可以在屏幕的“输出”内手动关闭独立部件。
没有安全互锁。
状态显示的背景颜色是红色。
模块处于服务模式。
6.3.3.4自动模式:
当所有部分处于准备时并且不是工艺中即不忙时,选择该模式后,设备可以自动进行操作。
状态显示的背景颜色是绿色。
模块处于自动操作模式。
6.3.4设备主界面
6.3.5信息栏
显示当前时间、日期;显示设备模式(手动或自动模式),与PLC的通讯状况:
正常(OK),登录名称:
Service(服务)、Operator(操作者)等。
6.3.6报警诊断栏
显示当前出现的报警的相关信息:
日期、
时间:
出现报警的时间;
功能部件:
出现报警的部件;
功能:
出现报警的部件的执行功能;
错误信息:
出现的报警信息,相关错误解释可查阅操作手册;
状态:
报警的状态。
未解决、已承认等。
6.3.7按钮信息栏
A软件登录。
B软件版本信息。
C用户管理。
D关闭操作模式,所有输出信号将被关闭(断电关机时使用)。
E将机器切换到手动模式,所有部件操作将切换到手动模式。
F将机器切换到服务操作模式,非设备维护人员禁止点击。
G将机器切换到自动操作模式。
H切换主界面。
I进入Service界面,将会显示各种输入、输出信号状态。
J单独手动控制每个部件。
K进入工艺方案子界面。
L进入曲线子界面。
M进入错误诊断子界面。
N消除报警声。
O消除错误
P传送带状态
Conveyor1:
传送Input上料部分。
Conveyor2:
传送Input上料部分,Etchbath,Rinse1bath,Alkalinebath。
Conveyor3:
传送Input上料部分,Rinse2bath,Acidicbath,Rinse3bath,
Dry2,Output下料部分。
Offsetadjustments:
偏差调节。
ConveyorSpeed[m/min]:
传送速度调节。
TemperatureEtchbath[℃]:
刻蚀槽温度调节。
Q计数器、前玻璃门
Resetinput:
投入硅片数量复位。
Waferchargeinput:
实际投入硅片数量。
Resetoutput:
输出硅片数量复位。
Waferchargeoutput:
实际输出硅片数量。
Temperatureetchbath:
腐蚀槽温度。
R各个槽的状态及相关信息
Manual:
操作模式为手动模式
NotReady:
该部件未准备好
Ready:
该槽已做好准备,等待工艺运行
FillingDI:
该槽正在添加纯水。
FullDI:
该槽内已添满纯水
FillingChem:
该槽正在添加化学药品。
FullChemical:
该槽已充满化学药品。
Empty:
该槽没有化学药品或纯水。
InProcess:
表示该槽工艺正在运行中。
Draining:
该槽正在排放化学药品或纯水。
Error:
该槽出现错误。
Standby:
待命。
等待硅片的投入。
Tempout:
腐蚀槽出路温度。
Flow:
该槽化学药品的流速。
Bathquality:
腐蚀槽内规定腐蚀重量的当前剩余值。
BathLifetime:
该槽使用寿命。
Airknife:
风刀工作频率。
Enteranote:
输入一个提示信息。
Lockpane:
琐闭拉窗。
RecipeinUse:
当前使用的工艺。
Start:
自动模式下,开始工艺运行。
Stop:
自动模式下,停止工艺运行,所有传输、马达停止。
TestLams:
测试报警声音是否正常剩余值。
6.4关于操作
6.4.1标准开机
打开配电柜电源开关,打开镶在配电柜外面的控制机器照明灯的按钮。
按下操作面板上的On按钮,将显示器的开关打开。
所有紧急制动如无紧急情况,不得按下。
如按下紧急制动按钮,机器的所有动作将会停止。
6.4.2登陆操作
点击按钮,将弹出用户登陆对话框。
操作者输入用户名(UserName):
operator,密码(Passward):
operator,点击确定按钮。
Loginname处将显示operator用户。
6.4.3填充药液/纯水:
点击按钮,将机器操作模式切换到手动模式。
逐一给每一个槽添加化学药品或纯水。
EtchBath(腐蚀槽):
点击添加药液(FillChem)按钮,待该槽状态显示FullChem并且Ready时,点击开始运转按钮(StartMainfunction),该槽的状态
显示工艺运行中(InProcess)。
Alkaine(碱槽):
点击添加药液(FillChem)按钮,待该槽状态显示为FullChem并且Ready时,点击开始循环(StartCirculation)按钮,待循环泵运转后,点击开始腐蚀(StartEtching)按钮,该槽的状态显示工艺运行中(InProcess)。
Acidic(酸槽):
点击添加药液(FillChem)按钮,待该槽状态显示为FullChem并且Ready时,点击开始循环(StartCirculation)按钮,待循环泵运转后,点击开始腐蚀(StartEtching)按钮,该槽的状态显示工艺运行中(InProcess)。
Rinse(冲洗槽):
点击添加纯水(FillDI)按钮,待该槽状态显示为FullDI并且Ready时,点击开始腐蚀(StartEtching)按钮,该槽的状态显示工艺运行中(InProcess)。
完成以上所有槽的准备工作后,将机器的操作模式切换到自动模式,点击开始按钮,机器开始自动运行。
注意:
自动模式运行前,必须确定传输是停止的,并且风刀的状态是关闭的才能在自动模式下start,运行工艺。
6.4.4乙二醇的更换步骤
A、点击界面上Coolingunit单元排放draining按钮;
B、待冷却器内液体全部排空后,从冷却器设备顶部加注20L乙二醇;
C、乙二醇加注完成后,在主界面Coolingunit单元点击GlycolchangeOK;
D、点击Filling按钮加注Citywater;
E、加液完成后,冷却柜还需排气。
步骤为:
冷却柜上的操作面板set→selectprogram→111→1(on).排气后水位如降低则到主界面加注Citywater.完成后还需将排气步骤关闭,set→selectprogram→11→0(off)。
排气步骤反复两次。
6.4.5自动分析仪电极的更换和校准操作
6.4.5.1在主界面下,单击“workplace”菜单,选择“offline”模式;
6.4.5.2在“Run”窗口下的“Method”命令中选择“calibrationpHelectrode”;
6.4.5.3拧下电极并用DI水冲洗后,再用无尘布擦干;
6.4.5.4检查电极内部氯化钾溶液的最低液位是否没过电极头部(若液位低于电极头部需添加氯化钾溶液);
6.4.5.5将电极放入加好储存液的存储管里,储存;
6.4.5.6取出新电极,打开上部的橡皮塞加入氯化钾溶液(使液位达到管长的80%处,即橡胶头的下缘);
6.4.5.7拧好电极并进行电极的校准操作。
注意:
A、电极的头部十分敏感,勿擦拭。
B、储存电极时要保证其上部的橡胶头关闭,校准时必须打开。
C、操作时一定要戴好必要的防护手套和口罩。
D更换化学药品时的安全操作规范
6.4.6更换Metrohm用化学药品
Metrohm用化学药品包括NaOH(1.000mol/L)和HCL(1.000mol/L)。
供给管
通风管
药液密封盖
补给箱
6.4.6.1检查药液箱是否空了;
6.4.6.2拧开药液密封盖并取出吸液管,移开供给管;
6.4.6.3将满的补给箱换上,并将药液密封盖旋紧(或将化学药品经过漏斗倒入原药液补给箱内);
6.4.6.4将空药液箱冲洗干净后将其螺旋密封盖旋紧;
6.4.6.5用干净的毛巾将酸碱液残留物吸干,将毛巾用清水处理干净。
注意:
保持HCL和NaOH药液箱的密封盖紧闭!
在更换容器内的药液时,必须穿戴好防护服、防酸碱手套和护目镜。
6.4.7更换化学药品室的化学药品
更换化学药品前须先确认化学品的类型和厂家,现使用的为晶瑞和润玛两个厂家的产品,两个厂家的药液桶深度不一样,为了不浪费药液,所以我们使用的打液管长度也不一样,更换不同药液的同时应更换相应的打液管(润玛使用短管,晶瑞使用长管)。
化学药品室内化学药品包括HNO3(65%)、KOH(50%)、HF(40%)和HCL(37%)。
供给管
通风管
药业密封盖
补给箱
6.4.7.1打开药液柜的门。
6.4.7.2在供给管关闭的情况下,确定此药液箱是否无药液。
6.4.7.3旋开药液箱上的密码环,并且移开吸管。
6.4.7.4将吸管放到药液柜边准备好的吸管架里面。
6.4.7.5用叉车将药液罐(200L或1000L)取出药品室并将满的药品罐更换进来。
6.4.7.6旋开满的药液罐的盖子并且将吸管插入。
6.4.7.7将密码环上的螺旋连接拧紧,将药品室的门关闭。
6.4.7.8拧紧空药液箱上的密封盖。
6.4.7.9用干净的毛巾吸收可能会出现的化学药液的残留物,将毛巾用清水洗净。
注意:
保持化学药液罐的密封盖紧闭!
在更换药液时,必须穿戴好防护服、防酸碱手套和护目镜。
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- 工序 作业 指导书