370a测试仪操作指导书doc.docx
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370a测试仪操作指导书doc
主题:
370A测试仪操作指导书
编制部门:
供应商品保部
发布日期:
年月日
起草者:
薛小华
审查:
文件管制:
保密等级:
更新层次:
日期:
09年3月4日
日期:
年月日
日期:
核准:
主题:
370A测试仪操作指导书
文件更改记录
本程序根据实际需要作如下更改,已经相关部门会签并呈报核准,签核意见及变更具体内容见附页《文件新建/更改申请单》。
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修改内容纪要
修订者
核准者
更改日期
更改单号
A
文件格式变更,同时修改版本控制方式
薛小华
主题:
370A测试仪操作指导书-
1.目的:
确保仪器设备的正确使用及测试结果的准确性,防止仪器设备的误操作。
2.适用范围:
适用于公司内所使用各类分立半导体电参数测量。
3.仪器主要功能:
用于测量晶体二、三极管击穿电压、正向压降、漏电流、放大倍数等电性参数。
4.面板说明:
11
主题:
370A测试仪操作指导书--
%1“OUTPUTS”开关:
测试时,需将开关上拔向“ENABLED”。
测量完毕,将“OUTPUT”开关下拔置于“DISABLED”o
%1电源开关。
%1测试夹具的插孔。
%1选择测试夹具的位置按键:
如测试夹具插在左边,则按左边的按键,使之指示灯亮。
%1电压或电流大小的微调旋钮。
%1“CURSOR”指针按键,测试时.置于“DOT”.
%1输出为曲线或点的选择键,一般置于“LONG”或“SHORT”,防止晶体管过热,引起测试损坏。
除非需要确认曲线状况,则置于“OFFSET”。
(短时间确认)。
%1最大电压和功率量程选择键:
为防止对零件的破坏,需视具体功率大小设置最大量程。
%1输入波形选择键:
视测试参数选择。
%1波形上的测试点选择位置:
若测试输出曲线肘,需将曲线上的“亮点”移到曲线的最上端,
以确保测试参数的正确性。
⑪“HORIZONTAL”“VERTICAL”的刻度值旋钮。
⑫输入“电压”或“电流”选择按钮:
测试二、三极管等电流控制元件,选择为“电流”,测试MOSFETffi控元件,选择为“电压”o
⑬“STEPGENERATOR”产生合适的STEP输出特性图.
5.具体操作步骤说明:
5.1开机
5.1.1检查“OUTPUTS”开关,使之置于“ENABLED”位置。
5.1.2打开电源开关,经10秒钟自检后,370A处于初始化状态。
5.1.3为了后续测量的方便,按“SAVE”键,供后续测量状态参考。
5.1.4选择夹具,依据SPEC.正确安装待测器件,并正确选择测量功率、电压及测量波形。
主题:
370A测试仪操作指导书--
5.1.5依据夹具插的位置,选择“LEFT、STANDBY.RIGHT”于LEFT或RIGHT位置。
5.1.6置“CURSOR”于“DOT”°
5.1.7依所测晶体管按照下面的2、3、4点进行设置。
5.1.8按照晶体管的具体SPEC.设置"HORIZONTAL""VERTICAL"的刻度值。
5.1.9将测量体置于测试夹具中,开始测量。
5.1.10若为了测量方便可按“SAVE”键储存入E区,若须再测时可按“RECALL”键.
5.1.11测量完毕,将“OUTPUT”置于“DISABLED”。
5.2二极管参数的测量
5.2.1Vf(正向电压)的测量
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE=OPEN(EXT)
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
将“OUTPUTS”开关置于“ENABLED”,慢慢旋动“COLLECTORSUPPLY"使COLLECTOR值慢慢增大,当正向电流IF满足SPEC要求时,HORIZONTALCURSOR即指示正向电压
VPo
注:
当感觉到测量体在发热时,应使用“PULSE”中“LONG”或“SHORT”。
5.2.2反向电流IR
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE二OPEN(EXT)
主题:
370A测试仪操作指导书-,
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
-LEAKAGE(功率二极体选-DC)
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
将“OUTPUTS”开关置于“ENABLED",慢慢增大“COLLECTORSUPPLY"当所加的反向电压VR满足SPEC要求时,VERTICALCURSOR即指示反向电流IR
5.2.3ZENER二极体的ZENER电压VZT
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE=OPEN(EXT)
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
-WZKZ7
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
将“OUTPUTS”开关置于“ENABLED”,慢慢增大“COLLECTORSUPPLY”当反向电流满足SPEC要求时,HORIZONTALCURSOR即指示ZENER电压VZT。
5.3三极体主要参数的测量
以\PN三极体为例进行说明:
5.3.1HFE的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE=STEPGEN
EMITTER二COMMO'
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+(PNP:
)
主题:
370A测试仪操作指导书--
VERTICAL:
COLLECTOR
STEPGENERATOR:
CURRENT
将“OUTPUTS”开关置于“ENABLED”,慢慢增大“COLLECTORSUPPLY”同时调节“STEPGENERATOR",产生合适的输出特性图,移动光点,调节“OFFSET”,使光点处电压VCE及电流TC满足SPEC要求,则指示出HFE的值。
注:
若测量体发热或测量大功率时,应使用“PULSE”中的“LONG”或“SHORT”。
5.3.2Vce"的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE二STEPGEN
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+(N、(PNP:
-)
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
依据SPEC.给定的IB选择合适的STEP的数目和每个STEP的数值,调节uCOLLECTORSUPPLY”使IC满足SPEC.要求。
当IB和IC满足SPEC.要求时,HORIZONTALCURSOR即指示Vcewd之值。
注:
若测量体发热或测量大功率时,应使用“PULSE”中的“LONG”或“SHORT”。
5.3.3喝汕)的测试
按3.2节步骤调节IB、IC,在IB、IC满足SPEC条件下,将“HORIZONTAL”置BASE/EMITTER,则HORIZONTALCURSOR即指示V职汕)之值。
注:
若测量体发热或测量大功率时,应使用“PULSE”中的“LONG”或“SHORT”。
5.3.4Tcbo的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
主题:
370A测试仪操作指导书-'
BASE二COMMON
EMITTER二OPEN(EXT)
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+LEAKAGE(PXP:
-LEAKAGE)
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
EMITTER
当光点处VCB满足SPEC之规定时,VERTICALCURSOR即指示Icbo0
5.3.5lebo的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR=OPEN
BASE二COLLECTORSUPPLY
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
-LEAKAGE(PXP:
+LEAKAGE)
HORIZONTAL:
COLLECTOR
ERTICAL:
EMITTER
当光点满足VEB值时,VERTICALCURSOR即指示Iebo0
5.3.6V(BR)CBO的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE二COMMON
EMITTER=OPEN(EXT)
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+(PNP:
一匚入[7)
HORTZOXTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
主题:
370A测试仪操作指导书--
调节COLLECTORSUPPLY,使漏电流IC达到SPEC规定值,此时HORIZONTALCURSOR指示为V(BR)CBOo
5.3.7V(BR)CE0的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE=OPEN(EXT)
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+(PNP:
-)
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
调节COLLECTORSUPPLY,使漏电流IC达到SPEC规定值,此时HORTZOXTALCURSOR指示为V(BR)CEOo
5.3.8V(BR)EBO的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR=OPEN
BASE二COLLECTORSUPPLY
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
-(PNP:
+(^\(^\)
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
调节COLLECTORSUPPLY,使漏电流IE达到SPEC规定值,此时HORIZONTAL、CURSON即为V(BR)EBOo
5.4MOS管主要参数的测试
以N沟道为例进行测试说明,P沟道则“COLLECTORSUPPLYPOLARITY,,与N沟道相反。
5.4.1BVDSS的测试
体系文件第三层
编号:
OPE-30
页次:
10/10
版序:
A00
主题:
370A测试仪操作指导书
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE=SHORT(EMITTER)
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
STEPGENERATOR:
VOLTAGE
调节COLLECTORSUPPLY,当ID满足SPEC时,此时HORIZONTALCURSOR指示为BVDSSo
5.4.2TDSS的测试:
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE=SHORT(EMITTER)
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+LEAKAGE
HORTZOXTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
STEPGENERATOR:
VOLTAGE
调节COLLECTORSUPPLY,半VDS满足SPEC时,此时VERTICALCURSOR指示为IDSS。
5.4.3VGS(th)的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE=OPEN
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+C\T\
主题:
370A测试仪操作指导书--
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
STEPGENERATOR:
VOLTAGE
调节COLLECTORSUPPLY,半满足SPEC所规定的VDS、ID时CURSON即指示出VGS(th)o
注:
若测量体发热或测量大功率时,应使用“PULSE”中的“LONG”或“SHORT”。
5.4.4Igss的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR=OPEN
BASE二COLLECTORSUPPLY
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+LEAKAGE
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
EMITTER
STEPGENERATOR:
VOLTAGE
外部将DS极短路,当VGS满足SPEC要求时,CURSOR即指示出Tgss。
5.4.5RDS(ON)的测试
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPL
BASE=STEPGEN
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
STEPGENERATOR:
VOLTAGE
主题:
370A测试仪操作指导书--
调整VDS、ID,使之满足SPEC给定条件,置“CURSOR”于“LINE”,此时VERTICALCURSOR即指示出跨导RDS(0N)之值。
注:
若测量体发热或测量大功率时,应使用“PULSE”中的“LONG”或“SHORT”。
5.5可控硅/晶闸管主要参数的测试[A-C;G-B;K-E]
5.5.1TDRM:
晶闸管加上断太重复峰值电压时的峰值电流的测试设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLYBASE=OPEN(EXT)EMITTER二COMMONCOLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+LEAKAGEHORTZOXTAL:
COLLECTORVERTICAL:
COLLECTOR
将“OUTPUTS”开关置于“ENABLED”,慢慢增大“COLLECTORSUPPLY”,当所加的VAK满足SPEC要求时,VERTICALCURSOR即IDRM值。
5.5.2IRRM:
晶闸管加上反向重复峰值电压时的峰值电流设置:
COXFTGURATTON:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLYBASE二OPEN(EXT)EMITTER二COMMO、COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
-LEAKAGEHORIZONTAL:
COLLECTORVERTICAL:
COLLECTOR
5.5.3VTM:
晶闸管通以n倍或其他规定倍数的额定通态平均电流时的瞬态峰值电压设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLYBASE=STEPGENEMITTER二COMMONCOLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+
主题:
370A测试仪操作指导书--
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
COLLECTOR
STEPGENERATOR:
VOLTAGE
调节“COLLECTORSUPPLY",当纵坐标电流IATM达到SPEC值时,水平坐标对应点即VTM。
注:
读数Dt用点扫描。
5.5.4IGT:
使晶闸管由断态转入通态所必须的最小G极电流。
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE二STEPGEN
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+
HORIZONTAL:
COLLECTOR
VERTICAL:
STEPGEN
STEPGENERATOR:
CURRENT
调节“COLLECTORSUPPLY",当第一个触发线,则格数*STEPGENERATOR值即为IGT。
5.5.5VGT:
产生G极触发电流所必须的最小控制极电压。
设置:
CONFIGURATION:
COLLECTOR二COLLECTORSUPPLY
BASE二STEPGEN
EMITTER二COMMON
COLLECTORSUPPLYPOLARITY:
+AVA
HORIZONTAL:
STEPGEN
VERTICAL:
COLLECTOR
STEPGENERATOR:
VOLTAGE
调节“COLLECTORSUPPLY",当第一个触发线,则格数*STEPGENERATOR值即
为VGT。
主题:
370A测试仪操作指导书-
6.注意事项
6.1测试每种器件之前,须熟悉其SPEC,o
6.2测量时,要戴防静电手环。
6.3每种器件测试之前,须检查器件与夹具间的接线关系正确无误及二脚间是否有短路现象。
6.4每次测试完毕关机前须将“OUTPUTS”开关置于"DISABLED”位置。
6.5出现异常情况,及时报告技术人员。
6.6测试过程中,需避免在电压电流未调零时,用手抓待测的零件本体,尤其是大功率器件,以免零件发热,烫伤手。
6.7需避免将功率设置过大,造成对零件的破坏。
6.8测试完零件,需避免混料。
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