浙江师范大学LED芯片研发中心.docx

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浙江师范大学LED芯片研发中心

“浙江师范大学---LED芯片研发中心”

超净室设备采购清单

序号

项目名称

设备、材质及工程技术要求

性能要求

主要技术指标

1

气体供应及防护系统

一、总体功能描述：

气体供应及防护系统是为PECVD和TCP设备安全供应气体，保证PECVD和TCP设备的正常使用，对工艺尾气作处理，并实现远程监控与报警。

二、需供气体及要求

1.TCP刻蚀设备需供气体及要求

a.Cl2：

气压：

1kg/cm2，最大流量：

100sccm，纯度：

4N

管径：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316

b.BCl3：

气压：

1kg/cm2，最大流量：

100sccm，純度：

4N

管径：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316

c.He：

气压：

1kg/cm2，最大流量：

30sccm，純度：

4N

CHF3：

气压：

1kg/cm2，最大流量：

500sccm，純度：

4N

管徑：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316

d.Ar，N2，O2：

气压：

1kg/cm2，最大流量：

200sccm，純度：

4N

管径：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316

2.PECVD设备需供气体及要求

a.SiH4

气压：

1kg/cm2，最大流量500sccm,

管徑：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316，純度5%SiH4,95%N2

b.N2O

气压：

1kg/cm2，最大流量500sccm

管徑：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316，純度4N

c.CF4/O2

气压：

1kg/cm2，最大流量500sccm,

管徑：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316，純度CF480%,O220%

d.NH3

气压：

1kg/cm2，最大流量200sccm

管徑：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316，純度4N

e.O2

气压：

1kg/cm2，最大流量500sccm

管徑：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316，純度4N

f.PN2

气压：

1kg/cm2，最大流量500sccm

管徑：

1/4"VCRMale，管材：

SUS316，純度4N

3.气源

a.＃1Room：

SiH4、NH3放置于＃1Room气体房内。

设备采用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自惰性气体房工艺氮气面板，普通氮气接氮气罐。

气瓶柜采用半自动控制型式操作，钢瓶出口端设置EMO紧急切断阀门。

气体设备接出来的管道穿墙后在吊顶上敷设。

SiH4采用双套管，外层SS304AP内层SS316LEP。

系统连接方式为VCR或全自动轨道焊接形式。

更换气瓶时对应的特气排放至燃烧水洗式尾气处理装置集中处理。

b.＃2Room:

CHF3、CH4、N2、O2放置于＃2Room气体房。

设备采用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自惰性气体房工艺氮气面板，普通氮气接自气罐。

CHF3、CH4、N2、O2分别组成单瓶架，手动控制型式。

c.＃3Room:

Cl2为腐蚀性气体，放置于＃3Room气体房。

设备采用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自惰性气体房工艺氮气面板，普通氮气接自气罐。

气瓶柜采用半自动控制型式操作，钢瓶出口端设置EMO紧急切断阀门。

气体设备接出来的管道穿墙后在吊顶上敷设。

Cl2采用SS316LEP管材。

系统连接方式为VCR或全自动轨道焊接形式。

更换气瓶时对应的特气排放至燃烧水洗式尾气处理装置集中处理。

三、系统构架及要求

1.气路基本要求：

a.各种气体管道应设置明显标志。

b.所有系统设计都必须遵从SEMIS2和FM7-7标准。

c.按照需求设计吹扫和气管路。

d.抽气管路必须遵从本地编码及适用的工业规范、安全政策。

2.气瓶柜结构

（1）气瓶柜构造

a.气瓶柜面板应该是厚度大于等于2.5mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非易燃的。

b.气瓶柜全表面都不能有震动，锋利的边缘及可能导致操作人员受伤的其他缺陷。

c.气瓶柜的底板厚度应该大于等于3.4mm，并铺盖有防滑垫片以抵抗更换钢瓶时的磨损。

d.气瓶柜的底面设计要便于放置或移走钢瓶而不必调整钢瓶高度。

e.气瓶柜的门，管路线路通道，窗及其他孔洞必须安装密封圈以防止泄漏。

f.气瓶柜要适当的密封。

g.进气窗口要安装灰尘过滤器。

h.气瓶架四面不必有面板但必须要有支架。

i.所有气瓶柜应该标明内部存储气体的种类及其精确浓度。

气瓶柜内部所有的管路及阀件应该标明其作用，例如供气，吹扫或排气。

（2）气柜门

a.气柜门可以自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。

b.气柜门可以打开90度角以上以便正常操作。

c.所有的气柜门及窗子使用同样的钥匙。

d.气柜门可以平稳的打开及关闭,保证在开关是不产生火花。

（3）气瓶柜的操作窗口

a.操作窗口可以自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。

b.操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5mm并有金属丝加固的安全玻璃。

c.窗口背面要安装隔离玻璃嵌板。

（4）气瓶柜的排气装置

a.气瓶柜排气管的直径必须大于等于6英寸并装有挡板以调节气瓶柜内适当的抽风量。

b.排气状态的持续监控信号要显示在控制屏上并与控制器联动以提供抽风量不足时的停机或报警选项。

（5）气柜系统设计

a.盘面的排气管必须保持微量N2微漏通过监控其背压来侦测排气管是否堵塞。

b.在更换钢瓶时，Pigtail必须保持小流量的PN2吹出。

c.盘面所用的部件必须与所供气体相适应，所有的阀件必须可以开关100000次以上。

d.盘面构造应该尽可能没有死角以减少污染和腐蚀的可能。

e.管路设计的最大承受压力3000Psi，最高温度50℃。

f.管路构造要符合ASTM标准。

g.调压阀要安装在便于调节压力及维护的位置。

h.必须使用标准结构的部件，以减少死角。

i.除了Vent管，不得使用弯管器弯管，一律使用焊接配件。

3.气瓶柜安全要求

a.防火：

气瓶柜要装有作动点为68℃的喷水头，用作火灾事故时冷却气瓶。

同时要装有温度传感器并与盘面控制器联动。

b.双套管泄漏监控：

双套管的夹层必须用压力的上升或下降的方法进行监控，报警信号接回气柜的PLC。

c.气瓶柜要装有气体、温度及烟雾侦测器。

气体侦测器要安装在排气管上。

d.系统互锁：

所有安全装置及与控制器的触摸屏必须是失效保护型。

e.信号灯（可选项）：

信号灯的警报信号根据不同的颜色分为三种：

红色是警报，黄色是故障，绿色是正常运行。

亮度要求为在5米距离范围内能够看清楚信号灯光。

.

f.接地：

所有的气瓶柜/气瓶架、带电部件和盘面必须接地。

g.气瓶柜内外有压力监测装置，保证气瓶柜内处于负压工作状态。

4.气瓶柜动力需求

投标方必须考虑气瓶柜所需求的电源电线连接、工艺管路设计、吹扫管路设计、真空管路设计、压缩空气与排风系统（包括直接排放部分和需要尾气处理部分）等等。

5.系统架构

a.气体侦测器分别安装在气体房气柜、工艺机台排风及气体房排风处。

工艺机台排风处安装3个，气体房排风处安装3个，气体房环境侦测2个，安装方式为一对一安装。

b.声光报警等安装在有人员操作的洁净室通道处。

c.系统主控制盘体和人机界面位于洁净室内。

d.联动关系：

当气柜侦测器报警时，远程关闭相应气体的气柜。

e.监控系统通过以太网络或RS485采集相关设备的实时数据。

气体泄漏读值，系统报警，仪表故障，报警历史记录以及其他一些系统数据显示在监控电脑上。

6.侦测器

a.侦测器品牌：

所选品牌质量不低于Riken和Honeywell。

b.侦测器量程设定：

①SiH4的检测范围为0～20ppm，一段报警值为2.5ppm，二段报警值为5ppm。

②Cl2的检测范围为0～2ppb,一段报警值为0.25ppm，二段报警值为0.5ppm。

③NH3的检测范围为0～100ppm，一段报警值为12.5ppm，二段报警值为25ppm。

c.当气体房侦测器达到一段预警时，气体房中相应的报警灯红灯闪烁，蜂鸣器启动，同时关闭相应的气柜。

通过图控软件隔离按钮可以隔离报警信号的输出。

d.当机台侦测器达到一段预警时，机台的报警灯红灯闪烁，蜂鸣器启动，同时关闭上游相应的气柜。

通过图控软件隔离按钮可以隔离报警信号的输出。

7.图控显示

a.主体显示――厂房的layout图，设备的Layout图；

b.细节显示――侦测器图符中的读值显示，一段、二段和故障的报警显示；

c.趋势显示――显示侦测器浓度值的实时曲线图；

d.报警显示――在即时窗口显示相应的报警内容；

e.历史记录――在历史记录窗口显示相应的历史记录；

f.用户登陆――提供多个用户登陆，用户名和密码由客户设置和更改；

g.隔离操作——对侦测器的报警信号可进行隔离操作，屏蔽报警信号的输出；

8.配管工程：

（1）管道总体要求：

a.所有的管路及接头材料都必须用SS316LEP材质（10maximumand7Ra）.

b.管道测试要求：

需要压力、氦检、水份、氧份、颗粒等测试。

9.供气方式

a.钢瓶氮气和吹扫氮气的供气方式为双钢瓶手动切换方式；钢瓶存放区域合理分隔，明确标识，避免不相容气体混合爆炸。

b.气体进入设备机台前,若各机台对压力有不同要求,需安装二次减压面板。

10.管道材料和阀门

（1）管道、阀门采用满足相应气体纯度要求的不锈钢材质；阀门采用隔膜阀。

（2）SiH4必须使用双套管，内管为EP级，外管为AP级,其他气体为EP级单层管。

（3）阀门材质与相连管道材质相适应，应采用VCR连接。

（4）管道连接为自动焊接方式连接，保护气体必须在99.999%以上。

11.管道敷设

（1）氧气管道与其它气体管道同架铺设时，其间距不得小于0.50m；交叉铺设时，其间距不应小于0.25m。

（2）气体管道不得和电缆、导电线同架铺设；桥架有富裕，可满足将来一定的扩容要求。

（3）穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝、螺纹和法兰。

管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵（不得使用含石棉材料）。

（4）管道支架为柔性支架，与管道接触部分不得为碳钢。

12.仪表要求

（1）设备上的测量用仪器仪表及设备联接件使用公制单位。

（2）仪器仪表应选用优质品牌，提供有资质的检验合格证。

16.焊接要求

（1）所有管道焊接都必须在氩气保护的环境下进行，包括管道内部都要通有氩气。

（2）正式焊接前必须作试焊，试焊样品交需方保存，在焊接质量确定无问题后再正式焊接。

（3）焊接必须由资质的公司和作业员来做，且必须有3个以上同类工程的经验。

四、文件及测试要求

1.文件

a.提供使用说明书、维修手册、产品检验证书、泄漏报警装置的检测校准方法。

b.管道、阀门等材质证明。

c.减压阀、泄漏报警装置、低压报警器等各部件均提供检测合格证及/或出厂报告。

d.提供的报告：

开工报告、隐蔽工程检查报告、检测报告、竣工报告等。

e.竣工时要给轴测图，并标注管道的尺寸。

2.测试

a.可燃流体输使用的阀门及输送压力大于1Mpa的阀门应逐个进行壳体压力试验和密封试验。

b.强度试验：

管道焊接完成后进行强度试验，设计压力的1.5倍，保持30分钟，不漏气，无异常边形。

c.整体管路作氮气吹扫的五项试验。

d.气密性试验：

在设计压力下保持24小时，压力表不下降。

五、售后服务与技术支持

1.培训

（1）由卖方对买方技术人员进行免费操作培训。

（2）培训方式：

a.安装时的现场培训，并进行操作演示、数据处理等培训；

b.技术培训，地点在用户方所在地，培训内容（仪器构造特点、操作程序及方法、使用操作注意事项、仪器的日常维护保养、常见故障排除方法等）及培训时间、教材等由投标人自报，人员不限。

（3）培训人员必须为卖方公司专职技术人员，不得派出学生或卖方用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受；培训开始前由卖方提供详细的培训计划大纲，并需得到用户方认可。

2.设备的备件和附件：

（1）备品备件及易损、易耗材料：

卖方应提供质保期内所需的备品备件及易损、易耗材料。

此项备品备件及易损、易耗材料的名称、规格、数量及单价应详细列出清单，作为标书的附件，其报价应包含在投标总价中，检验验收应与主机要求一致。

调试仪器所需耗材由卖方自行负担。

（2）卖方对设备保修期满后所需备品备件及易损、易耗材料列出名称、规格、及单价，价格不含于投标总价之内。

卖方应保证备件价格在最终验收后的5年内不上浮，并保证设备保修期满后3年所需备件的价格折扣率要大于或等同于设备投标时的折扣率。

保证备件、易损件10年以内的供应。

（3）专用工具及维修工夹具：

卖方应向买方提供专用工具及维修工夹具，其报价包含在投标总价之中，专用工具及维修工夹具名称、规格、数量及单价应详细列出清单作为投标书的附件。

（4）软件终身免费保修。

（5）卖方投标产品的制造商如在国内设置有备品配件（进口保税）仓库,应注明仓库的地点及规模。

（6）零配件最长到货时间应在2天内，特殊零配件需国外供货的应在7天内。

3.维护：

卖方必须有专职的工程师，提供专业的维修服务和技术支持。

若用户求援，保证1~2小时内有专人回复。

若电话不能解决故障，即使有特殊情况，需要保证在24小时内到现场处理，每次维修最多不超过2个工作日完成，并保证零配件与消耗性材料的充足供应。

易耗品和技术支持需另行提供文件。

4.技术服务：

为了使买方使用仪器设备达到最佳效果,确保正常工作,卖方除承担安装、调试、验收与培训等义务外，还将继续为买方提供技术支持。

其中还包括保修期外的修理、技术指导和配件供应。

5.技术资料和图纸资料：

（1）技术文件：

提供必要的技术图纸资料以及安装、调试技术手册；

（2）仪器设备操作、使用说明书、维修手册、零部件清单；

（3）基础图、电气图、流程图；

（4）仪器设备/系统操作维护说明手册、编程手册、软硬件说明、报警手册等；

（5）上述资料提供中文文本3套；

（6）制造厂应随仪器设备提供产品检验合格证书、质量保证书等文件；

（7）安装调试计划和对安装场地和环境的要求；

（8）在投标文件中必须提供验收大纲和验收标准；

（9）在投标文件中必须提供主要外购部件的供货商清单；

（10）卖方认为有必要提供的其他技术资料及文件。

6.售后服务与保证

（1）设备质量保证期自最终验收通过之日起2年，在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供货方负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的商检、运输、清关等费用均由供货方负担。

若用户认为确需供货方派员来用户方现场修机，则以传真方式通知供货方。

供货方应接到用户通知后1小时内回应、24小时内派员抵达用户方实施修机，2天内排除故障。

保修期满前1个月内卖方应负责一次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。

质保期结束后卖方应提供终身维保服务（只收取成本费）。

质保期内应安排不少于４次技术回访。

（2）维修响应时间：

设备出现故障时，卖方在接到买方通知后24小时到达现场。

（3）质量保证期内，停机待修时间不得超过2天，若超过则扣除质量保证金金额或保修期延长待机时间的3倍。

（4）质量保证期内，提供买方软件免费升级。

六、投标人资格

1.投标人自2008年1月1日以来在国内具有合同金额50万元以上3个（含）以上已投入使用的类似实验室供气系统项目业绩，且使用情况良好。

业绩证明须为中标通知书（或供货合同）和验收报告，并提供业主证明及对设备质量评价。

防漏、防爆、自动保护处理

1.自动检测气体是否泄漏；

2.自动警示气体泄漏；

3.自动消除泄漏气体。

4.SiH4的检测范围为0～20ppm，一段报警值为2.5ppm，二段报警值为5ppm；

5.Cl2的检测范围为0～2ppb,一段报警值为0.25ppm，二段报警值为0.5ppm。

6.NH3的检测范围为0～100ppm，一段报警值为12.5ppm，二段报警值为25ppm。

7.当气体房侦测器达到一段预警时，气体房中相应的报警灯红灯闪烁，蜂鸣器启动，同时关闭相应的气柜。

通过图控软件隔离按钮可以隔离报警信号的输出。

8.当机台侦测器达到一段预警时，机台的报警灯红灯闪烁，蜂鸣器启动，同时关闭上游相应的气柜。

2

尾气处理系统

（1）尾气处理设备尾气处理量：

大于400SLPM。

（2）至少四个连接入口（PECVD1个设备尾气，ICP1个设备尾气，1个钢瓶柜吹扫接口，1个预留）

（3）排气接口为NW40，4Port。

（4）设备整体防腐。

（5）必须是全自动触摸屏操作。

（6）设备尾气处理方式必须是燃烧水洗式式，燃烧温度必须达到800°C以上，能完全处理等。

（7）必须自带洗涤功能，不必另接洗涤塔。

（8）尾气设备产生的酸能方便的回收处理，如能加碱中和最好。

（9）尾气产生的粉尘能方便清理，回收。

（10）操作和保养方便。

处理易燃、易爆及有毒气体

基本要求：

能够自动全程处理设备尾气达到环保要求。