华星光电tftlcd液晶面板3d技术及fpdg45代研发线项目申请建设环境评估报告书.docx
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华星光电tftlcd液晶面板3d技术及fpdg45代研发线项目申请建设环境评估报告书
国环评证甲字第2806号
TFT-LCD液晶面板
3D技术及FPD(G4.5代)研发线项目
环境影响报告书
(简本)
建设单位:
深圳市华星光电技术有限公司
编制单位:
深圳市环境科学研究院
二〇一二年十二月
第一章总论
1.1前言
深圳市华星光电技术有限公司(以下简称“华星光电”)于2009年成立于深圳市光明新区高新技术产业园区,主要从事薄膜晶体管液晶显示器件(以下简称“TFT-LCD”)的开发、制造、销售以及售后服务。
为确立华星光电在平板显示领域的研发和技术领先地位,增强企业的核心竞争能力,华星光电拟建设TFT-LCD液晶面板3D技术及FPD(G4.5代)研发线项目。
该项目总投资约8.2亿元,由3D液晶面板关键技术研发及产业化项目和FPD研发线项目2个子项目组成,其中FPD研发线项目设有阵列工程、彩膜工程、成盒工程以及有机电发光显示(OLED)及TFT背板技术工程实验室、氧化物半导体(Oxide-TFT)技术工程实验室和低温多晶硅(LTPS)技术工程实验室。
本项目在华星光电现有厂房预留区域内进行建设,不新建生产厂房,储运工程、公用及辅助工程、环保工程以及员工生活、办公设施等主要依托现有工程。
根据《中国人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》等法律法规的要求,本项目需编制环境影响报告书,执行环境影响报告审批制度。
受华星光电的委托,深圳市环境科学研究院(以下简称“我院”)承担本项目的环境影响评价工作。
接受委托后,我院通过收集相关资料及现场踏勘和调查,并在相关资料分析的基础上,根据国家相关法律法规、污染防治技术政策以及环境影响评价技术导则的要求,编制完成了《TFT-LCD液晶面板3D技术及FPD(G4.5代)研发线项目环境影响报告书》。
根据环评报告书结论,本项目符合国家和地方相关产业政策的要求,符合相关规划及地方环保政策的要求;项目选址不在深圳市基本生态控制线范围内,不位于水源保护区,符合所在区域的土地利用规划;本项目为研发实验项目,规模较小,建成后产生的废水、废气、噪声和固体废物等污染物较少,经采取相应的环保措施治理后,不会对周边环境产生较大的污染。
本项目在严格执行国家和深圳市的环境保护要求,切实落实报告书中提出的各项环保措施后,所产生的污染物可做到达标排放,项目建设不会对周边环境产生较大影响,从环境保护角度分析,本项目的建设是可行的。
1.2区域环境功能属性
项目所在区域的环境功能属性见表1.2-1。
表1.2-1项目所在区域环境功能属性一览表
编号
环境功能区名称
评价区域所属类别
01
基本生态控制线
位于基本生态控制线外
02
饮用水源保护区
非水源保护区
03
地表水环境功能区
茅洲河燕川断面上游,Ⅳ类
04
地下水环境功能区
珠江三角洲深圳分散式开发利用区,Ⅲ类
05
环境空气功能区
二类区
06
环境噪声功能区
3类区
07
基本农田保护区
否
08
自然保护区
否
09
风景名胜区
否
10
城市污水服务范围
是,光明污水处理厂
1.3评价工作等级
(1)地表水环境
按照《环境影响评价技术导则地面水环境》(HJ/T2.3-93),确定本项目地表水环境评价等级为三级。
(2)地下水环境
根据《环境影响评价技术导则地下水环境》(HJ610-2011),确定本项目地下水环境评价等级为三级,以定性分析为主。
(3)环境空气
根据《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ/T2.2-2008)估算模式,可计算得本项目主要污染物Pmax=1.44%<10%,因此确定大气环境评价等级为三级。
(4)声环境
根据《环境影响评价技术导则声环境》(HJ2.4-2009),确定本项目声环境评价等级为三级。
(5)环境风险评价
根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ/T169-2004),确定本项目环境风险评价等级为二级。
1.4评价工作范围
(1)地表水环境
由于本项目的污废水排入光明污水处理厂处理,因此水环境评价主要针对接入污水处理厂的可行性进行分析。
现状质量现状评价范围以茅洲河为主。
(2)地下水环境
根据项目特点和评价工作等级,确定地下水环境评价范围主要为项目用地上游和下游各1km的区域。
(3)大气环境
根据估算模式,本项目废气排放各污染因子地面浓度占标10%落地点(D10%)的距离<2km,根据《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2008)并结合区域环境特征,确定评价范围以项目所在地为中心,半径2.5km的圆形区域内。
(4)声环境
根据项目噪声源与周边环境特点,确定声环境影响评价范围为:
项目厂界外200m范围内。
(5)风险评价
根据项目风险源特点、评价等级及项目所在环境特征,确定环境风险评价范围为:
以特殊气体库为中心,半径3km的圆形区域。
本项目评价范围示意图见图1.5-1。
1.5环境敏感点及环境保护目标
根据现场查勘和资料调研,本项目环境影响评价范围内无自然保护区、风景名胜区和文物保护单位,不涉及饮用水源保护区,也未发现国家或地方重点保护野生动植物。
本项目主要环境保护目标见图1.5-1。
图1.5-1本项目环境敏感点和评价范围图
第二章工程概况
2.1项目基本情况
(1)项目名称:
TFT-LCD液晶面板HVA技术及FPD(G4.5代)研发线项目
(2)建设单位:
深圳市华星光电技术有限公司
(3)建设地点:
深圳市光明新区高新技术产业园区(科裕路西侧,光明大道北侧)华星光电现有厂房预留区域
(4)项目性质:
扩建
(5)项目投资:
约8.2亿元,其中环保投资805万元
(6)建设内容与规模:
本项目在华星光电现有厂房的预留区域内进行建设,由3D液晶面板关键技术研发及产业化项目和FPD(G4.5代)研发线项目2个子项目组成,其中FPD研发线项目设有阵列工程、彩膜工程、成盒工程、有机电发光显示(OLED)及TFT背板技术工程实验室、氧化物半导体(Oxide-TFT)技术工程实验室和低温多晶硅(LTPS)技术工程实验室。
3D子项目位于2#建筑物(成盒厂房)第1层内的预留区域,所需面积约25000m2;FPD子项目位于2#建筑物(成盒厂房)第3层内的预留区域,所需面积约3000m2。
本项目在华星光电现有厂房的预留区域内进行建设,无需新建厂房,储运工程、公用及辅助工程、环保工程以及员工生活、办公设施等主要依托现有工程。
2.2项目地理位置和四至情况
华星光电位于深圳市光明新区塘明大道9-2号,光明大道与科裕路的交汇处西北侧。
厂址东侧为科裕路,隔科裕路为旭硝子显示玻璃(深圳)有限公司和深圳华映显示科技有限公司;南侧为光明大道,隔光明大道为甲子塘村,东南侧为甲子塘村规划居住地;北侧为东明大道,隔东明大道分布长丰工业区和东坑村;西侧为茅洲河支流滩地形成的湿地。
龙大高速公路在厂区东侧通过。
2.3劳动定员及工作制度
华星光电厂区研发人员及管理人员实行单班工作制,每班工作时间8小时,每周工作日5天,全年工作日250天;生产工人实行四班三运转,每班工作时间8小时,每周工作日5天,全年工作日250天,年时基数1850小时。
生产设备实行三班工作制,每周工作日7天,全年工作355天,年时基数7670小时。
材料库、成品库、化学品库等实行单班制,值班、动力及辅助部门按生产车间工作制度配套。
本项目建成后华星光电厂区员工总数约5566人,现有工程总人数5500人,本项目新增66人,具体为:
FPD子项目所需人员为50人,其中生产人员15人,研发技术人员35人;3D子项目所需人员为16人,其中生产人员12人,研发技术人员4人。
2.4项目进度安排
本项目计划施工期为2012年6月至2013年4月,其中3D子项目于2013年2月完成,FPD子项目于2013年4月完成。
第三章工程分析
3.1工艺流程及产污环节分析
本项目在已建生产厂房的预留区域内通过增加工作基台等方式实施,不存在土建、装修等施工活动,因此,本次评价仅对项目营运期生产工艺进行分析。
(1)FPD(G4.5代)研发线项目
FPD项目建设的目的是为第8.5代生产线导入新材料、新制程从而节约成本,其生产工艺包括陈列工程(Array)、彩膜工程(CF)、成盒工程(Cell)、有机电发光显示(OLED)及TFT背板技术工程、氧化物半导体(Oxide-TFT)技术工程和低温多晶硅(LTPS)技术工程。
其中阵列工程、彩膜工程和成盒工程是FPD项目的公用工序,其生产工艺与第8.5代生产线基本相同,主要为有机电发光显示(OLED)及TFT背板技术工程实验室、氧化物半导体(Oxide-TFT)技术工程实验室和低温多晶硅(LTPS)技术工程实验室提供玻璃基板制作、成盒处理等服务;而氧化物半导体(Oxide-TFT)技术工程实验室仅用IGZO材料代替传统TFT玻璃中的有源层硅,其工艺流程与第8.5代生产线阵列工程也基本相同。
(2)3D液晶面板关键技术研发及产业化项目
3D技术是建立在第8.5代生产线液晶面板平台上的以研制大尺寸3D液晶电视面板并实现其产业化为主要任务的研发项目。
与第8.5代生产线相比,3D项目新增制程主要为3D光学膜贴附与加压脱泡,即在原偏光片贴附后,再贴附上一层3D光学膜(图形化相位延迟膜)。
TFT-LCD制造生产工艺在玻璃基板表面有清洗、化学气相沉积(CVD)、溅射金属膜、涂光刻胶、曝光、显影、湿法刻蚀、干法刻蚀、剥离等工序,包括形成栅极、有源层硅岛、源漏电极、接触过孔、像素电极等过程这些工序反复交叉,经热处理成为基板中间产品后,并以有机溶剂或水洗净,充填液晶,盒分割,贴偏光片,最后进行组装测试。
包括检查和测试在内实际达到100多道的工艺步数组成TFT-LCD生产的全过程,同时生产过程中使用多种化学有机溶剂、特殊气体和配套动力,将产生废水、废气以及固体废物(废液)等污染物。
3.2水平衡
本项目用水由市政自来水管网提供,主要包括工艺用水、生活用水及辅助系统用水等。
本项目新鲜用水量约252.3m3/d,其中生活用水约3.3m3/d,工艺用水约153m3/d,主要用于FPD项目,3D项目无需用水;辅助系统用水约96m3/d。
本项目生活污水排放量约3m3/d,生产废水排放量约227m3/d,分别通过现有工程水处理设施处理达标后通过市政污水管网排入光明污水处理厂。
本项目水平衡见表3.2-1。
表3.2-1本项目水量平衡情况(单位:
m3/d)
序号
项目
生产用水新鲜水补充量
回用水量
循环水量
蒸发、损耗、产品中水量
废水产生量
1
FPD工艺用水
153
0
—
—
139
2
反冲洗用水
32
—
—
—
32
3
浓缩水回收系统
56
56
—
—
6
4
循环冷却水
4
27
220
4
27
5
废气洗涤系统
4
23
—
4
23
6
生活用水
3.3
0
—
0.3
3
7
合计
252.3
106
220
8.3
230
3.3污染源强及排放情况
(1)水污染源
本项目生产过程产生的污废水主要为生产废水和生活污水,其中生产废水主要由FPD项目产生,废水种类与第8.5代生产线基本相同,3D项目无需工艺用水,无生产废水产生。
①生产废水
生产废水主要包括酸碱废水、铝蚀刻废水、染料废水、有机废水、纯水站再生反洗废水、RO/UF浓缩废水、废气洗涤塔排水及冷冻空调系统排水等。
②生活污水
本项目不设置员工宿舍,厂区生活污水主要来源于职工卫生间污水、餐厅废水、生产场所卫生间等。
3D项目新增员工16人,FPD项目50人,合计新增员工66人,人均用水量按50L/(人·d),则总用水量为3.3m3/d,污水产生系数取0.9,则本项目生活污水总量约3m3/d,按年工作250d计,生活污水年产生量为750m3/a,主要污染物为pH、CODCr、BOD5、SS、氨氮和动植物油。
(2)大气污染源
本项目公用及辅助设施均依托现有工程,不新增蒸汽锅炉、备用发电机等设备,也不新建食堂等生活设施。
因此,厂区锅炉燃烧尾气、厨房油烟废气及备用发电机废气等排放量在项目建成前后基本无变化。
本项目的一般排气用于对外空气交换中,为洁净排气。
本项目生产车间为全封闭操作,易挥发的有机废气、无机废气及特殊性气体均排入相应的净化系统中处理,基本上消除了工艺废气的无组织排放。
根据原第8.5代生产线环评报告书中分析,现有工程无组织排放废气主要为危险品仓库和废水处理站无组织排放的污染物,本项目建设对无组织排放废气的产生量无明显影响。
本项目产生的工艺废气种类与现有工程基本一致,主要包括酸性废气、碱性废气、有机废气和工艺尾气。
(3)噪声源强
厂区生产工艺设备均置于洁净厂房内,且噪声级较小,主要噪声源来自动力及辅助设备的机械噪声,包括冷冻机、冷却塔、空压机、风机、纯水制备装置、真空泵等,上述噪声源集中布置在动力车间(CUB)厂房内、动力车间楼顶和主厂房楼顶。
本项目公用、辅助设施以及环保设备主要依托现有工程,仅新增1套酸性废气处理系统和1套碱性废气处理系统。
(4)固体废物
本项目生产过程产生的危险废物主要包括废有机溶剂(HW42)、感光材料废物(HW16)、含铜废物(HW22)、含汞废物(HW29)、废酸(HW34)和废碱(HW35),主要来自各工艺段产生的废材料(主要包括废玻璃、废塑料、废背光源及废金属类包装材料、PVC等)、原辅材料废料(主要包括废稀释剂、光刻胶、剥离液、刻蚀液、剥离再生液、设备擦拭用丙酮、NMP等)以及辅助工程区产生的废物(主要包括PCB废料、废试剂容器、废吸附材料等),同时还会产生一定量的办公及生活垃圾、废水处理污泥等。
第四章环境质量现状调查与评价
4.1地表水环境质量现状
根据常规监测结果,2011年茅洲河全河段年均值超标的项目有溶解氧、化学需氧量、生化需氧量、氨氮、总磷、氟化物、阴离子表面活性剂和粪大肠菌群,整体水质受到重度污染,实际劣于Ⅴ类。
与往年相比,茅洲河的镉、石油类污染浓度呈下降趋势,其它污染物浓度和水质综合污染指数无显著变化趋势,自2001年以来茅洲河总体水质基本保持稳定。
4.2地下水环境质量现状
现状监测结果标明,项目区域地下水各项监测因子中,除总大肠菌群外,其它指标均能满足《地下水质量标准》(GB/T14848-93)中的Ⅲ类标准要求,监测结果表明区域地下水环境可能受到了区域生活污染源的影响。
4.3环境空气
根据环境空气监测结果可知,项目区域常规污染物二氧化硫、氮氧化物、PM10、TSP均能够达到《环境空气质量标准》(GB3095-2012)中二级标准的要求,且占标率不高;本项目特征污染物氯气、氨气、HCl、氟化物和TVOC均有检出,虽可满足所参照标准的要求,但占标率较高,说明区域内企业排放的污染物对大气环境质量产生了一定的影响。
4.4土壤环境质量现状
由土壤监测结果可以看出,项目区域土壤环境质量良好,能够满足《土壤环境质量标准》(GB15618-1995)二级标准要求。
4.5声环境质量现状
根据噪声监测结果,项目东、西、厂界现状噪声值均可以达到《声环境质量标准》(GB3096-2008)中3类标准的要求,南侧厂界现状噪声可满足4a类标准要求,甲子塘村规划居住区现状噪声也可达到3类标准要求。
第五章环境影响预测与评价
5.1地表水环境影响评价
本项目生产过程产生的废水种类同现有工程,生产废水总量为227m3/d,其中酸碱废水125m3/d、铝蚀刻废水14m3/d、染料废水12m3/d、有机废水76m3/d。
本项目产生的生产废水经过自建废水处理站处理达到广东省《水污染物排放限值》(GB44/26-2001)第二时段三级标准和光明污水处理厂接管标准中的较严限值后通过市政污水管网排入光明污水处理厂进一步处理,达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)中的一级A标准后排入茅洲河。
此外,本项目废水处理站设有应急池,若废水处理设施出现故障,废水可暂存于应急池中,待故障消除后再进入废水处理站进行处理,因此不会造成严重的环境污染事故。
本项目生活污水排放量为3m3/d,主要来源于员工洗手等产生的污水和厕所排出的粪便污水等。
生活污水经隔油池和化粪池处理后通过市政污水管网排入光明污水处理厂处理,达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)中的一级A标准后排入茅洲河,对茅洲河的影响较小。
5.2地下水环境影响评价
本项目水源采用市政供水,为地表水源,不使用地下水作为供水水源,不采用渗井、渗坑等方式排放废水,不会因项目用水需要引起地下水水位下降或引起环境水文地址质问题。
本项目运行期间有化粪池和污废水管道等污染源,应加强化粪池和污废水管道的防渗处理,加强管理和采取措施,预防对项目选址区周围区域的地下水造成间接危害,保护地下水资源。
通过采取上述措施,项目对地下水的影响较小。
5.3环境空气影响评价
本项目废气分为酸性废气、碱性废气、有机废气和工艺尾气四种,经分别集气、处理后,通过排气筒高空排放。
(1)酸碱废气
正常工况下,本项目排放的大气污染物中二氧化氮最大占标率为1.44%,最大落地浓度距离约230m;氯化氢最大占标率为1.01%,最大落地浓度距离约230m;氨气最大占标率为0.47%,最大落地浓度距离约240m。
项目区域大气环境中二氧化氮、氯化氢和氨气的平均背景值占标率分别为14.5%、72.0%和33.9%,本项目排放叠加背景值后占标率分别为16.0%、73.01%和34.37%,未超标。
二氧化氮、氯化氢和氨气在各敏感点处的浓度贡献值叠加背景值后浓度范围分别为0.0508~0.0527mg/m3、0.0401~0.0410mg/m3和0.1143~0.1174mg/m3,分别占评价标准的25.42~26.35%、80.30~81.89%和57.15~58.70%,均未超标。
可见,项目正常排放排放的大气污染物对周围环境空气敏感点的影响在可接受的范围内。
非正常工况下,二氧化氮、氯化氢和氨气分别出现在排气筒下方向230m、234m、237m处,没有超过厂区范围,下风向最大落地浓度值分别为0.01114、0.004219、0.03945mg/m3,占标率分别为5.57%、8.44%和1.97%,均未超标。
二氧化氮在各处敏感点浓度贡献值叠加背景值后浓度范围为0.0532~0.0604mg/m3,占评价标准的26.62~30.20%,未超标;氯化氢在各处敏感点处浓度贡献值叠加背景值后浓度范围为0.0413~0.04391mg/m3,占标率为82.54~87.80%,未超标;氨气在各处敏感点处浓度贡献值叠加背景值后浓度范围为0.114~0.1177mg/m3,占评价标准的57.0~58.83%,未超标。
可见,在非正常排放的时候,本项目排放的大气污染物不会对周围环境空气敏感点产生严重影响,但仍要求企业加强管理,严格避免事故发生。
(2)有机废气
本项目有机废气排放量较小,可纳入现有工程有机废气处理系统一并处理,经处理达标后的尾气通过41m高的排气筒高空排放。
因此,本项目有机废气的排放对周边环境影响较小。
(3)工艺尾气
本项目工艺尾气排放量较小,采用工艺设备自带的POU净化装置对工艺尾气进行燃烧处理,再进入酸性废气处理系统(碱液喷淋吸收塔)进一步处理,经处理达标后的尾气通过41m高的排气筒高空排放。
因此,本项目工艺尾气的排放对周边环境影响较小。
5.4声环境影响评价
鉴于本项目用地性质为一类工业用地,且临近三类居住用地,根据相关部门的要求,运营期厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的2类标准(即昼间60dB(A),夜间50dB(A))。
预测结果表明,本项目建成后主要噪声源产生的噪声经过减振、消声等降噪治理以及随距离衰减后,项目运营期厂界噪声能够达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的2类标准要求。
另外,本项目附近村庄距离项目地均较远,最近环境敏感点甲子塘村规划居住区距华星光电南侧厂界约80m,距离本项目主要噪声源距离约530m。
根据预测结果,项目运行期对甲子塘村规划居住区的贡献值为27.3dB(A),叠加背景值后昼间噪声值为60.8dB(A),夜间噪声值为50.0dB(A),能够满足《声环境质量标准》(GB3096-2008)中的3类标准要求。
因此,项目运营期噪声对甲子塘村规划居住区的声环境质量影响较小,其噪声环境可基本维持现状。
5.5固体废物环境影响评价
本项目生产过程产生的危险废物主要包括废有机溶剂(HW42)、感光材料废物(HW16)、含铜废物(HW22)、含汞废物(HW29)、废酸(HW34)和废碱(HW35),主要来自各工艺段产生的废材料(主要包括废玻璃、废塑料、废背光源及废金属类包装材料、PVC等)、原辅材料废料(主要包括废稀释剂、光刻胶、剥离液、刻蚀液、剥离再生液、设备擦拭用丙酮、NMP等)以及辅助工程区产生的废物(主要包括PCB废料、废试剂容器、废吸附材料等),同时还会产生一定量的办公及生活垃圾、废水处理污泥等。
固体废物污染影响分析表明,本项目产生的固体废物若不能得到妥善处置,可能会对环境造成二次污染。
因此,建设单位在采取相应处理处置途径的同时,还应加强对固体废物的管理,严格执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》和《危险废物贮存污染控制标准》的相关要求。
为防治固体废物逸散、流失,采取分类集中堆放、专人负责等措施,有效防止固体废物的二次污染。
本项目固体废物经以上途径妥善处理后,不会对周边环境造成二次污染。
5.6环境风险评价
本项目主要风险事故类型包括毒害气体泄漏、火灾及污染治理措施失效的污染物非正常排放等;主要风险物质包括氯气、磷化氢、氨气等;主要危险厂房及设备为特殊气体库和特殊气体储罐、输气管线;主要危险工艺为特殊气体装卸。
根据事故统计及风险识别,评价确定本项目环境风险可信事故为氯气、磷化氢和氨气储罐与管线连接处泄漏,有毒气体通过气体库房外逸,事故发生概率在3×10-4~10-5左右。
通过预测,确定本项目风险可信事故发生后,事故点下风向污染物落地浓度小于其LC50值,不会立即造成人员伤亡;0.5m/s、F稳定度不利气象条件下,超出IDLH(必须撤离)浓度的最大范围为特气库半径120m区域,超出ERPG-2(刺激影响)浓度的最大范围为特气库半径225m区域。
上述影响区域内无居民区存在,事故情况下仅对厂区内职工产生一定影响。
2.6m/s年均风速、F稳定度条件下,必须对居民区撤离的范围最大为特气库半径380m区域,撤离对象主要甲子塘村;需要应急广播通知的范围最大为特气库半径1520m区域,通知对象主要包括甲子塘村、张屋村、塘家村、龙湾村、塘尾村、将围村、东坑村共七个社区。
评价根据本项目环境风险类型及事故危害,分别针对毒害气体泄漏影响、次生废水影响制定相应的应急控制措施和应急预案,避免和减小突发事故的环境影响。
总体上讲,本项目建成后突发环境风险事故虽对外环境可能产生影响,但其风险概率及风险后果较小,在落实、完善风险防范措施、应急预案的前提下,风险可接受。
第六章环境保护措施及可行性论证
6.1环境保护措施技术可行性分析
(1)地表水污染防治措施
本项目产生的污废水主要为生产废水和生活污水,项目建成后华星光电厂区运营期生产废水总
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