半导体芯片晶圆LED芯片外延TFTLDE制程冷却水PCW系统施工规范.docx
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半导体芯片晶圆LED芯片外延TFTLDE制程冷却水PCW系统施工规范
半导体芯片、晶圆、LED芯片、外延、TFT-LDE制程冷却水(PCW)系统施工规范
目录
1.一般说明
2.产品.材料说明
3.施工说明
笑嘻嘻半导体有限公司(二号厂房)
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1.一般说明
1.1.说明
3台泵浦扬程103m75kw流量5000LPM,sus304本体,主管φ225Asus30440s保
温。
缓冲水槽sus304,衔接RO或DI水。
过滤器sus304,5μm(标准滤材),pou7kg/c
㎡。
制程冷却水系统,供应机台16℃供应21℃回水稳定冷却水系统,冷却机台温度。
本规范适用于制程冷却水系统之设计、制造、运输、安装及测试等一般要求。
1.2.工程范围
制程冷却水系统:
泵浦组,桶槽,板式热交换器(配合冰水系统),管路,PLC控制系统,
1.2.1.本案工程范围包含运送安装、及测试调整以下之制程冷却水系统:
1.2.1.1制程冷却水泵浦。
1.2.1.2.板式热交换器。
1.2.1.3.制程冷却水泵浦防振基座之安装与调整,防振基座需包含避振弹簧基座及。
1.2.1.4.缓冲水槽及附属管路。
1.2.1.5.制程冷却水过滤器。
1.2.1.6.所有控制组件及控制管线。
1.2.1.7.所有水泵之动力配线。
1.2.1.8.防止结露之必要保温。
1.3.标准及法规
1.3.1.各设备应符合下列任一项标准:
1.3.1.1.ASTM
1.3.1.2.lSO
1.3.1.3.ANSL
1.3.1.4.NEMA
1.4.送审资料
1.4.1.送审设备型录、尺寸图、材质和电气规格表。
1.4.2.送审系统负荷运转分析(SYSTEMPROFILEANALYSlS)如下:
1.4.2.1.多台泵浦并联运转性能曲线图(PARALLELPUMPlNGCURVES)
1.4.2.2.系统运转特性图(SYSTEMCURVE)
1.4.2.3.系统并联衔接点(PUMPSTAGlNGPOINTS)
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1.4.3.泵浦用于开放系统时,应标示净正吸水头需求(NPSHR)。
1.4.4.P.C.W系统图及系统设备表,并附上P&ID.系统控制说明。
2.产品.材料说明
2.1制程冷却水泵系统
2.1.1.水泵浦型式为单段端吸式。
2.1.2.泵浦外壳为不锈钢制(SS304),泵浦叶轮为半开放,经水力及机械平衡之不锈钢
(SS304)叶片,确保安静与平滑之操作,泵壳并附有释压平衡孔(PRESSURERELlEF
BAlANCEHOLES)。
2.1.3.水泵轴封为机械轴封,材质可为钢材及耐磨合成橡胶或同等功能之产品,轴承框架
的组合须组配与电动马达同一等级,滚珠轴承以薄雾润滑(OILMlSTLUBEICATlON),以
确保运转时的平滑与安静。
2.1.4.联结头须为柔性并能吸收起动时之扭转振动,在马达与泵浦轴连接时需经准确的校
准。
联结头需附保护盖。
2.1.5.马达与泵浦共置且由于重结构钢材焊接并置于水平校准之基座上。
2.1.6.泵浦外壳须有交脚直接支撑于褒浦外壳上,以防止泵浦于维修时,因泵浦外壳的悬
空而造成应变(STRAlN)。
2.1.7.每具泵浦由一定速马达驱动。
马达须合于NEMA之规范。
设计速度之泵浦马达制动
马力,不得超出马达之马力。
马达全密闭风扇冷却(TEFC)F级绝缘,且至少有15%之安
全系数。
2.1.8.变频系统(VARIABLESPEEDPUMPlNGSYSTEM)
2.1.8.1.变频系统包括控制器(CONTROLLER),变频器(ADJUSTABLEFREQUENCYDRlVE),
压差传送器(DIFFERENTlALPRESSURESENSOR/TRANSMlTTER)流量传送器(FLow
SENSOR/TRANSMITTER)及其它各厂家可提供之标准配备。
该变频系统应于原厂执行
全功能测试合格后并检附相关之证明文件方可出厂。
2.1.8.2.马达在正常运转下以变频器控制,当变频器故障或检修时,需可自动及手动切
换至旁路起动。
当马达超过3OHP(含)以上,则旁路启动需以Y-启动。
2.1.8.3.变频器
2.1.8.3.1.变频器之箱体应符合NEMA1之有关规定且3~3OHP(含)采墙挂式安装,
3OHP以上落地式按箱体装需设计并需附排风扇。
2.1.8.3.2.应为Wl或PWM系统用于驱动鼠笼式感应马达,使噪音度需符合IEEE和FCC
规定。
2.1.8.3.3.符合NEMA及IEEE或其它同等之规定。
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2.1.8.3.4.周围环温允许值为,10至40℃而相对湿度为95%不冷凝的情况。
2.1.8.3.5.全速时之效率为及其功率因子应在90%以上。
2.1.8.3.6.以下功能为设计基准各厂家应提供相对功能:
2.1.8.3.6.1.Currentlimitto110%ofdriverating
2.1.8.3.6.2.Phasetophaseshortcircuit
2.1.8.3.6.3.Phasetogroundshortcircuit
2.1.8.3.6.4.Phaserotationinsensitive
2.1.8.3.6.5.Currentlimitprotection
2.1.8.3.6.6.Overvoltageprotection
2.1.8.3.6.7.Undervoltageprotection
2.1.8.3.6.8.Overtemperatureprotection
2.1.8.3.6.9.Groundfaultprotection
2.1.8.3.6.10.inputdisconnectswitch
2.1.8.3.6.11.Variableoverloadtoprotectmotorfromexcesscu『rentatlow
speed
2.1.8.3.6.12.lndividualselectableresettablefaultcontrol
2.1.8.3.6.13.Highsta『tingtorque125%torqueforstartingfollower
selection
2.1.8.3.6.14.Metertodisplay%speed,%outputcurrent
2.1.8.3.6.15.Statusindication:
Overvoltage,PhaseLoss,Under-voltage,
OverTempe『ture,Overcurrent,PowerOn,OverloadExternalFault,
GroundFauit,AtSpeed,Run,enab!
ed
2.1.8.3.6.16.Hand/off/AutoSwitch
2.1.8.3.6.17.ManualspeedControl
2.1.8.3.6.18.Local/RemoteSwitch
2.1.8.3.6.19.MeterFLIdiot1Selector
2.1.8.4.系统控制器:
2.1.8.4.1.控制器应参考下列之功能,并以各厂家可提供之标准配备供应:
2.1.8.4.1.1.RealTimeClockwithSetback
2.1.8.4.1.2.DisplayScreenAndOnScreeHelpFunction
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2.1.8.4.1.3.SnapActionPushbuttons
2.1.8.4.1.4.ExclusiveMicroprocessorwithEPROMDesign
2.1.8.4.1.5.infinitelyAdjustablePlDdFunctions
2.1.8.4.1.6.FieldmodinableSetPoints(individuallyResetable)
2.1.8.4.1.7.PumpElapsedTime(lndividual)
2.1.8.4.1.8.OperatorlnterfaceDiagnostics
2.1.8.4.1.9.Multi-FaultMemoryAndRecall
2.1.8.4.1.10.ManuaiAndAutomaticAlternation
2.1.8.4.1.11.AutomaticStartOfLagPumpsUponLeadPumpsFailure(lnVariable
OrConstantSpeedMode)
2.1.8.4.1.12.ManualSystemControl
2.1.8.4.1.13.MembraneSwitcheswithGreen,RedAndAmberLedindications
2.1.8.4.1.14.Fused24VoltPowerSupply
2.1.8.4.2.软件程序应包括以下之功能,并以各厂家可提供之标准配备供应:
2.1.8.4.2.1.性能曲线末端点保护程序〔ENDOFCURVEPROTECTlONPROGRAM〕
2.1.8.4.2.2.最佳效率程序〔EFFlClENCYOPTlMlEATlONPROGRAM〕
2.1.8.4.2.3.自动交互切换功能〔AUTOMATICALTERNATIONFUNCTlON〕
2.1.8.4.2.4.系统效率程序(SYSTEMEFFlClENCYPROGRAM)
2.1.8.4.2.5.可与厂务控制系统联机,由厂务控制系统RemoteControl采用工业PLC
控制器。
2.1.8.4.3.压差传讯器参考以下之功能,并以各厂家可提供之标准配备供应:
压差传讯器要能精确的量测系统压差(0-70PSI),并将量测之压差以模拟讯号
(4~20mA)传讯至系统控制器(CONTROLLER),传讯距离最远为2000英呎'于额定范
围内精确度为告o±5%以内。
2.2.板式热交换器
2.2.1.每组板式热交换器需能符合附录所列之流量下要求之热交换量,并于最大流量及
压力时不能产生变形或振动。
2.2.2.消耗性需组件需能在不使用特殊工具下轻易替换。
2.2.3.于热交换器最高点需有一接头可外接释气阀,而于最低点需有一接头能外接排水
阀。
2.2.4.热交换板需能符合于其中一侧无压力时仍可承受最大操作压力。
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2.2.5.所有垫片均需使用无石绵制品。
2.2.6.承商需提供热交换器于操作中不冷凝结露之PE保温材料建议厚度。
2.2.7.热交换器所有与冰水接触之金属材质均需使用SUS304。
2.2.8.在全流量下其热交效率可达70%以上。
2.3.制程冷却水过滤器:
2.3.1.流体:
软水,温度:
6℃~25℃,操作压力:
8kg/cm2。
2.3.2.过滤器外壳:
SUS304,耐压:
1Okg/cm2,使用滤心数以能完全过滤为准。
2.3.3.过滤心:
材质Polypropylene/Polyethylene或其它同等品,结构:
二层结构,型
式:
单闭口,O型环,长度:
BYVENDER,精密度:
1μm。
2.3.4.过滤器进出口附差压表。
2.4.缓冲水槽buffertank:
9m3容量、材质SUS304,并需有一液位传讯器及配合补给水及
氮气之控制、减压等阀组。
SUS配管、SUS管线,管路高点装设自动排气阀
2.5.控制系统:
采工业P.L.C.控制器,以工业乙太网TCP/IPLUS,MODBUS或必要之讯号以供
中央控制系统作为监视用。
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3.施工说明
3.1材料
3.1.1.直管及管件
管材应采[SUS304]焊接用不锈钢,其管壁厚应符合10S以上之规定。
3.1.2.接头
直管及管件接头为焊接或螺纹接头。
若需以突缘连接时,突缘接头应按5kgf/cm2
规格制造。
3.1.3.弯头,T型,渐缩管及管端接头(StubEnd)等管配件为氩焊制成,其管壁厚应符
合10S以上之规定或同等级成型之产品。
又若以螺纹接头连接时,当D>50mm时,其连
接另件包括弯头、T型、渐缩管及管端接头等,采用[铸铁]或[不锈钢]制;又当D≦50mm
时,采用[青铜]制。
3.1.4突缘及螺栓均须为不锈钢。
3.2.准备工作
3.2.1.管端须整孔并去除毛头。
3.2.2.组合前先去除管内外之锈皮及杂物。
3.2.3.准备管线与设备连接用之凸缘及管套节。
3.4.施工期间之防护措施
在整个管路施工期间以及每日工作结束时,须对所有管路开口予以覆盖及适当防护,以
预防脏物或其它污物进入管路。
3.5.管线之组合制造
3.5.1一般要求
3.5.1.1.管线之组合制造,应考虑以尽量减少现场焊接为原则。
3.5.1.2.焊于管上之吊环,应使用与管子相同之材料。
3.5.1.3.管子切割须使用切管机或管子割刀,断口应用锉刀或刮刀锉平,避免损伤管子。
3.5.1.4.在厂组合制造完成之管线,运往工地前,应按规范予以清洗,清洗后管端应用
厚金属板,予以点焊封盖,在未作最后焊接时,不得拆除。
3.5.2不锈钢管之接合
3.5.2.1.螺纹接合(50mm及以下)
将管端切割平整,修去毛边,并清除锉屑及灰尘,使用适当之螺纹纹割工具,绞割成
带斜面之管螺纹,接合时,先将螺纹表面净洁,在公螺纹部份[贴上PTFE胶带][涂氧
化铅与甘油之混合剂,加绕油麻丝][涂含石墨之润滑油][其它经认可之螺纹接合
剂][其它经核可工法],旋入母螺纹予以绞紧,以防漏水。
螺纹之深度,长度应合于
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标准规定,管子接合后露出管外之螺绞数,不得超过三条。
3.5.2.2.对焊接合(65mm以上)
不锈钢管之焊接应采用氩气(TIG)焊接,并依据焊接规范施工。
除应慎选焊工及焊
条外,应注意管材之焊前处理。
管壁厚[3mm]及以上者,应开V型焊口。
对接焊深度
约为板厚之1/2。
V型开口焊接深度与板厚同。
焊缝应连续,不得中断,首尾衔接应
重迭[10mm]。
焊接凸缘时,管插入凸缘其管端应与底部保持与管壁同厚之距离,凸缘
面与管接触部位应作开口,两面焊接,凸缘一面焊于管端,另一面焊于管外壁。
3.5.2.3.突缘接头接合
3.6.管线之安装
3.6.1.一般规定
3.6.1.1.设计图所示之管线配置位置,并非绝对遵循之路线,承包商应在施工前,充分
了解工地情况,以及与其它工程间之关系,对有冲突之处,应与有关人员协调,作
适当之调整[,并依据「工程管理需求」规定提送施工详图,经工程司核准后施工]。
如因疏忽及缺乏协调而蒙受损失,应由承包商自行负责,不得要求追加工程价款或
补偿。
3.6.1.2.管线应尽可能采直线配置,避免不必要之偏位或交错,以及凹陷及造成气囊。
管线排列应与梁柱及地坪面保持平行,以及适当之斜度,倾向泄水或排气位置,预
留空间以便安装保温材料,并考虑阀及管配件之检修通路。
如阀及管配件安装于未
露明处所,须预留检修门(孔),其大小应符合规定。
3.6.1.3.安装管线须能允许膨胀或收缩,无应力作用于管子、接头或所连接之设备上。
3.6.1.4.不论图说有无说明,所有水管,应于必要高点装设排气阀,低点装设泄水阀。
3.6.1.5.所有与机器设备相连接之管子,或管线日后有拆卸保养顾虑处,应采用管套节
或凸缘连接,不同材质之金属管,使用隔电管套节。
3.6.1.6.管线穿越墙面或地板者应按设置套管。
3.6.1.7.主管进入建筑设施内部前,以及各歧管之起点,应设置隔离阀,以利日后维修,
但另有规定者除外。
3.6.1.8.若水管下方有配电盘、变压器、马达起动器或其它电气电子设施,须设置一不
锈钢滴水盘于水管下方,滴水盘须设一排水口及必要之排水管,将水排至指定
3.6.1.9.焊接歧管,以及使用焊接管件改变管路方向,必须使用标准管件,不允许
使用管子互相切角插接或交接,去代替肘管及T型管。
3.6.1.9.地下金属管须防蚀包覆。
3.6.1.10.管线油漆依「油漆」规定办理。
3.6.1.11.所有管线须有良好的支撑,并应考虑设备的振动、流体温度及压力__
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