COXEM EM30技术说明.docx
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COXEM EM30技术说明.docx
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COXEMEM30技术说明
高分辨率台式扫描电镜技术文件
仪器型号:
COXEM(库赛姆)EM-30
布鲁克能谱仪型号:
Quantax100XFlash430
北京欧同光学技术有限公司
2015年07月27日
附件一:
欧波同有限公司简介
欧波同有限公司是中国领先的微纳米技术服务供应商,是一家以外资企业作为投资背景的高新技术企业,总部位于香港,分别在北京、上海、广州、鞍山、济南、西安、成都等地设有分公司和办事处。
作为蔡司电子显微镜及韩国COXEM台式扫描电镜产品在中国地区最重要的战略合作伙伴,公司秉承“打造国内最具影响力的仪器销售品牌”的经营理念,正在为数以万计的中国用户提供高品质的产品与国际尖端技术服务。
欧波同有限公司长期专注于微纳米技术应用解决方案的推广与研发。
经过数年发展,欧波同有限公司目前已经成为中国最大的微纳米显微方案供应商。
2003年成立以来,公司引进国外先进的营销服务理念并切合中国市场实际,独创了一套彰显行业特色的PRS营销服务模式。
在不断推动行业发展、引领技术创新的同时,欧波同有限公司与中国各行业用户建立了良好的合作伙伴关系,分别在钢铁、冶金、机械、化工、电子、纳米材料、高校、科研等多个领域得到了用户的广泛认同。
COXEM公司总部位于韩国硅谷大田市大德科技区内,他的成立源于韩国国家纳米科技战略的制定与实施,由政府性的基金组织负责筹建的专业电子显微镜企业,是世界领先的台式扫描电镜企业。
COXEM产品广泛应用于材料科学、生命科学、地球物理学、电子学、能源科学等领域,客户范围涵盖全球的科研院所,高校,各类检测机构及大型工业企业实验室,并且在国际科学研究领域得到广泛认同。
欧波同有限公司与韩国COXEM的战略合作将携手共同致力于功能型台式扫描电镜的推广与应用开发工作,将会为中国广大用户提供更加系统的微纳米分析解决方案。
附件二:
产品概述
扫描电镜是以电子束作为光源,电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜,在末级透镜上部扫描线圈的作用下,在试样表面做光栅状扫描,产生各种同试样性质有关的物理信息(如二次电子,背反射电子),然后加以收集和处理,从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
COXEM(酷赛姆)桌面台式扫描电镜相较于传统大型SEM,具有占地空间小,价格低廉,实验室环境要求简单,操作维护方便等诸多优点,满足了广大科研工作者及工厂检测对高分辨率成像及成分分析的要求。
此类新型仪器的出现填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的间隙,可广泛应用于材料科学、生命科学、地球物理学、电子学、能源科学等领域。
附件三:
技术指标
EM-30高分辨率台式(桌面式)扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像方式,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而,可以获得更高的分辨率(<8nm),是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。
EM-30台式电镜配置SE探测器,可选配BSE探测器,实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析,也可选配EDS探测器(能谱仪),快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析。
主要参数:
1、光学系统
1.1、光源:
自动控制,钨丝阴极,预对中灯丝。
1.2、聚焦:
具有手动及自动聚焦功能。
1.3、分辨率 :
8.0nm@30KVSE
1.4、放大倍数:
20x-100,000x
1.5、加速电压:
1kv-30kv(1/3/5/10/15/20/30kV)
1.6、磁透镜系统:
聚光镜+物镜
物镜光阑:
4位可移动,摇摆对中
扫描光栅电位移及旋转:
+/-50um ,0-360°
2.样品室系统
2.1、样品室:
6个接口,可接配内外置EDS。
2.2、样品台:
X=35mm(马达驱动),Y=35mm(马达驱动),T=0-45°(马达驱动),R=360°,Z=0-50mm
2.3、样品尺寸(最大):
直径60mm, 高度45mm
3、真空系统
全自动 (真空时间:
小于2分钟)
前级真空:
旋片式机械泵
高真空:
涡轮分子泵真空系统
4、探测器系统
4.1探测器:
SE、EDS.
4.2扫描模式:
选区(320x240pixel)
TV全屏扫描模式:
(640x480pixel)
三档全屏慢扫模式:
(800x600pixel)
照相模式:
(1280x960,2560x1920,5120x3840pixel)
示波器扫描模式
4.3、图像格式:
JPG、TIFF、BMP
图像显示器:
21.5"LCDMonitor
4.4、自动控制功能:
电子枪饱和
电子枪对中
电子枪偏压
亮度对比度
聚焦
4.5、工作距离 :
4 -50mm
4.6、控制系统:
USB通讯接口计算机控制,Delli5PC,21.5英寸显示器,独立显卡 2G内存,操作系统:
Windows7
4.7、图像处理分析软件
图像标注编辑存储
长度、角度,面积等测量功能
实时图像灰度直方图显示
5、主机尺寸:
400Wx600Lx550Hmm
6、主机重量:
100kg
7、布鲁克能谱仪
型号:
Quantax100XFlash430(有效探测面积30mm2)
能谱仪(EDS)-检测特征X射线能量,称为能量色散谱仪(EnergyDispersiveSpectroscopy),简称能谱仪(EDS),主要是对材料微区化学成分进行定性及定量分析,可以用于金属、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析等。
主要参数:
7.1、XFlash®探头430M
-能量分辨率<133eV(MnK,100000cps),1-100000cps分辨率保持不变;
-最大输入计数率>150kcps
-活性面积30mm2
-超薄窗口,元素探测范围硼(5)至镅(95)
-完全无振动,完全免维护,帕尔贴效应致冷
7.2、XFlash®MINSVE信号处理单元(D330),最大可输出计数率60kcps
-超低死时间混合脉冲数据处理器
-完全由软件自动控制的硬件校准
7.3、输入输出扫描系统和用于实时谱图采集的MegaLink接口适配器
7.4、ESPRITSpectrum,用于谱图采集和定性分析的软件,带有实时模式和最完备的原子数据库
7.5、ESPRITUQuant,用于无标样定量谱图分析的自动软件工具
7.6、ESPRITUQuant(Q113),供专业用户使用的扩展谱图分析选项
7.7、ESPRITUQuant,用于用户自定义谱图评估方法的编辑器
7.8、ESPRITScan(Q201),从两个可选择的信号源,例如SE和BSE,采集图像的软件,以及用于外部扫描系统的驱动器(4096x4096像素)
7.9、ESPRITMultipoint,自动多点和选区分析软件
7.10、ESPRITLine(Q203),存储谱图数据库的超快速线扫描软件
7.11、ESPRITMap(Q204),超快速元素面分布
7.12、ESPRITProject(Q126),数据管理和归档系统
7.13、ESPRITReport(Q121),生成报告和格式化打印
7.14、ESPRITSEMLink(Q122),与SEM的数据通信
7.15、Mylar膜
附件四:
计划进度及培训
发货:
合同签订后3个月
保修期:
对于由于产品质量问题产生的故障保修一年。
供方与需方配合进行:
1.设备到达需方地址后,供方在接到需方安装通知十四日内派工程师到达现场进行安装调试。
2.安装调试完毕后,马上对用户人员进行培训。
培训内容:
(1)电镜及附件的操作
(2)电镜及附件的日常维护
(3)样品观测、分析、获取图象
3.培训时间5天或可针对用户情况延长时间。
附件六:
环境要求
COXEMEM-30主机尺寸为400(W宽)X600(L长)X550(H高)mm,重量85kg;并含控制计算机一套。
COXEM电镜安装前准备工作要求:
工作台:
要求台面不小于800(W宽)X2000(L长)mm,落地稳定且可承载100kg重量;
房间环境:
室温:
20˚C+/-5˚C;相对湿度:
小于70%;
电源插孔:
220V±10V;50Hz±1Hz;单相;接地电压小于4V;
房间选择:
要求尽量选择一楼位置;尽量远离马路、重型机械等振动源;
要求尽量远离变压器、变电房、主输电线路等电磁源。
以下指标如有必要会在设备调试时测试
磁场:
小于0.5mG
震动:
小于35dB
噪声:
小于60dB
附件七:
质保及其他服务
A.规范化的服务体系:
COXEM(酷赛姆)产品售后服务具有ISO9001服务体系认证资格,执行ISO9001售后服务标准。
B.贴近用户的服务网点:
COXEM公司在中国设立直属专业维修中心,下设有北京、上海、济南3个专业维修站负责售后服务工作。
近在咫尺的专业人士为您提供快捷、周到的服务。
1.固定维修站:
在北京有3位维修工程师、1位应用专家,济南有1位维修工程师,上海有3位维修工程师,向目前COXEM的用户提供服务。
2.远程遥控服务:
根据我们多年在世界各地的经验,80%以上用户提出的“技术问题”都是由于用户本身,特别是电镜新用户还没有完全熟练掌握电镜的操控,或对于某些样品的测试方式不熟悉而产生的,并非电镜本身出现故障。
针对此点,我们设立了远程遥控技术服务,我们的技术人员每天24小时提供热线电话技术服务,即时协助、解答操作员提出的问题。
C.完善的呼叫服务中心:
COXEM在中国设有统一的售后服务电话,对用户提出的技术及质量问题8小时内答复,如要求现场维修则24小时内到达解决。
在保修期内,非人为故障免费负责修理。
D.全国领先的保修政策:
COXEM产品保修期一年,终身维护酌情收费。
保修期外出现质量问题,如需更换部件酌情收费。
E.免税备件服务:
为了保障设备的正常运作,缩短维修的时间,COXEM将储存零备件于北京,它将包涵COXEM电镜重要的备换件。
如需要由海外COXEM总厂空运零配件,运输时间将不超过8个工作日。
F.维修保证:
对于所有COXEMSEM产品,供方将提供技术维修服务和最少10年的备件供应。
G升级保证:
在硬件允许的条件下,保证软件免费升级。
耗材:
序号
名称
规格型号
数量
单价
使用时间
备注
1
灯丝
钨灯丝
1支
550元
100小时
2
碳导电胶带
宽度是6mm
1卷
500元
6个月
3
抛光膏
100ml
1盒
450元
12个月
- 配套讲稿:
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